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2009 | OriginalPaper | Chapter

Microsystems technology

Authors : Lars Heinze, Bernhard Wybranski, Lutz-Günter John, Gabi Fernholz

Published in: Technology Guide

Publisher: Springer Berlin Heidelberg

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Microsystems technology (MST) encompasses technical systems consisting of functional components between 1–100 μm in size. The spectrum of functional elements integrated into microsystems ranges from electronic to mechanical, as well as optical and fluid components.

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Metadata
Title
Microsystems technology
Authors
Lars Heinze
Bernhard Wybranski
Lutz-Günter John
Gabi Fernholz
Copyright Year
2009
Publisher
Springer Berlin Heidelberg
Book
Technology Guide

Print ISBN: 978-3-540-88545-0

Electronic ISBN: 978-3-540-88546-7

Copyright Year: 2009

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-540-88546-7_15

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