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1999 | OriginalPaper | Buchkapitel

3D Adaptive Unstructured Grid Solver: Application to Flow and GaAs Deposition in the Planetary Reactor™

verfasst von : Yu. E. Egorov, A. O. Galyukov, A. I. Zhmakin

Erschienen in: High Performance Scientific and Engineering Computing

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

Enthalten in: Professional Book Archive

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The present paper deals with the numerical simulation of the growth of GaAs epitaxial layers in the Planetary Reactor™ using 3D adaptive unstructured grids.

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Titel: 3D Adaptive Unstructured Grid Solver: Application to Flow and GaAs Deposition in the Planetary Reactor™
verfasst von: Yu. E. Egorov
A. O. Galyukov
A. I. Zhmakin
Verlag: Springer Berlin Heidelberg
Buch: High Performance Scientific and Engineering Computing
Print ISBN: 978-3-540-65730-9

Electronic ISBN: 978-3-642-60155-2

Copyright-Jahr: 1999
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-60155-2_23

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