Skip to main content
main-content

Tipp

Weitere Artikel dieser Ausgabe durch Wischen aufrufen

04.02.2017 | Technical Paper | Ausgabe 10/2017

Microsystem Technologies 10/2017

A high-force and high isolation metal-contact RF MEMS switch

Zeitschrift:
Microsystem Technologies > Ausgabe 10/2017
Autoren:
Peigang Deng, Ning Wang, Feng Cai, Longquan Chen

Abstract

A simple structure, high-force and high isolation metal contact RF MEMS switch was fabricated based on micro electroplating technology, and the mechanical and RF performance of the switch were measured. After release and annealing, the switch’s cantilever beam showed a tip-up of less than 1 µm over the beam length of 485 µm, indicating a good stress control and thermal stability of the electroplated gold. The pull-in voltage and the switching characteristics at different temperatures, ranging from 25 to 90 °C, were investigated. A fast, stable and temperature independent switching process was observed as the actuation voltage was 10% larger than the pull-in voltage. Based on the classical cantilever beam model, both the electrostatic actuation force and the return force of the switch were larger than 1000 μN, and the extracted effective spring constant of the free-standing beam was 718 N/m. Cold RF tests were carried out at various temperatures by a network analyzer, and we found that temperature showed very less influence on the insertion and isolation of the switch in the present case. At 25 °C, the insertion loss was −0.13 dB at 10 GHz, and was lower than −0.3 dB over the 0.05−20 GHz frequency range. The isolation was −36 dB at 10 GHz, and was higher than −27 dB over the entire scanning frequency range. The high isolation performance is consistent with a lumped-element equivalent circuit analysis of the switch.

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu diesem Inhalt zu erhalten

Sie möchten Zugang zu diesem Inhalt erhalten? Dann informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 69.000 Bücher
  • über 500 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 50.000 Bücher
  • über 380 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Maschinenbau + Werkstoffe​​​​​​​​​​​​​​

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Literatur
Über diesen Artikel

Weitere Artikel der Ausgabe 10/2017

Microsystem Technologies 10/2017 Zur Ausgabe

BranchenIndex Online

Die B2B-Firmensuche für Industrie und Wirtschaft: Kostenfrei in Firmenprofilen nach Lieferanten, Herstellern, Dienstleistern und Händlern recherchieren.

Whitepaper

- ANZEIGE -

Globales Erdungssystem in urbanen Kabelnetzen

Bedingt durch die Altersstruktur vieler Kabelverteilnetze mit der damit verbundenen verminderten Isolationsfestigkeit oder durch fortschreitenden Kabelausbau ist es immer häufiger erforderlich, anstelle der Resonanz-Sternpunktserdung alternative Konzepte für die Sternpunktsbehandlung umzusetzen. Die damit verbundenen Fehlerortungskonzepte bzw. die Erhöhung der Restströme im Erdschlussfall führen jedoch aufgrund der hohen Fehlerströme zu neuen Anforderungen an die Erdungs- und Fehlerstromrückleitungs-Systeme. Lesen Sie hier über die Auswirkung von leitfähigen Strukturen auf die Stromaufteilung sowie die Potentialverhältnisse in urbanen Kabelnetzen bei stromstarken Erdschlüssen. Jetzt gratis downloaden!

Bildnachweise