Skip to main content
main-content

Tipp

Weitere Artikel dieser Ausgabe durch Wischen aufrufen

01.02.2013 | Technical Paper | Ausgabe 2/2013

Microsystem Technologies 2/2013

A micro gearing system based on a ratchet mechanism and electrostatic actuation

Zeitschrift:
Microsystem Technologies > Ausgabe 2/2013
Autoren:
Phuc Hong Pham, Dzung Viet Dao

Abstract

This paper presents the design and fabrication of a silicon micro gearing system (MGS) that utilizes electrostatic comb-drive actuators to rotate a gear ring through a ratchet mechanism. The rotational comb-drive actuator is engaged with the gear ring through a spring system and ratchet teeth at one end, reciprocally rotates around an elastic point at the other end based on the electrostatic force. Rotational motion and torque from the driving gear ring are transmitted smoothly to driven gears through involute-shaped gear teeth. Smart design of anti-gap structures helps to overcome the unavoidable gap problem occurred in deep reactive ion etching (deep-RIE) process of silicon. The MGS has been fabricated and tested successfully by using SOI (silicon-on-insulator) wafer and one mask only. The angular velocity of the gear ring is proportional to the driving frequency up to 40 Hz.

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu diesem Inhalt zu erhalten

Sie möchten Zugang zu diesem Inhalt erhalten? Dann informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 69.000 Bücher
  • über 500 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 50.000 Bücher
  • über 380 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Maschinenbau + Werkstoffe




Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Literatur
Über diesen Artikel

Weitere Artikel der Ausgabe 2/2013

Microsystem Technologies 2/2013 Zur Ausgabe