21.01.2016 | Technical Paper
A study on controllable aluminium doped zinc oxide patterning by chemical etching for MEMS application
Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 9/2017
EinloggenAktivieren Sie unsere intelligente Suche, um passende Fachinhalte oder Patente zu finden.
Wählen Sie Textabschnitte aus um mit Künstlicher Intelligenz passenden Patente zu finden. powered by
Markieren Sie Textabschnitte, um KI-gestützt weitere passende Inhalte zu finden. powered by