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Journal of Electronic Materials
Erschienen in: Journal of Electronic Materials 4/2017

13.02.2017

Analysis and Measurement of Residual Stress in Bridge Membrane MEMS Relays

verfasst von: Yong Ruan, Weizhong Wang, Yong Zhu, Zheng You

Erschienen in: Journal of Electronic Materials | Ausgabe 4/2017

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Metadaten
Titel
Analysis and Measurement of Residual Stress in Bridge Membrane MEMS Relays
verfasst von
Yong Ruan
Weizhong Wang
Yong Zhu
Zheng You
Publikationsdatum
13.02.2017
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Electronic Materials / Ausgabe 4/2017
Print ISSN: 0361-5235
Elektronische ISSN: 1543-186X
DOI
https://doi.org/10.1007/s11664-017-5323-1

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