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Semiconductors
Erschienen in: Semiconductors 4/2015

01.04.2015 | Fabrication, Treatment, and Testing of Materials and Structures

Anisotropic shaping of macroporous silicon

verfasst von: E. V. Astrova, A. V. Parfeneva, G. V. Li, Yu. A. Zharova

Erschienen in: Semiconductors | Ausgabe 4/2015

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Metadaten
Titel
Anisotropic shaping of macroporous silicon
verfasst von
E. V. Astrova
A. V. Parfeneva
G. V. Li
Yu. A. Zharova
Publikationsdatum
01.04.2015
Verlag
Pleiades Publishing
Erschienen in
Semiconductors / Ausgabe 4/2015
Print ISSN: 1063-7826
Elektronische ISSN: 1090-6479
DOI
https://doi.org/10.1134/S1063782615040041

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