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Erschienen in: Journal of Electronic Materials 2/2019

27.11.2018

Annealing Impact on Interface Properties of Sprayed Al2O3-Based MIS Structure for Silicon Surface Passivation

verfasst von: L. Zougar, S. Sali, S. Kermadi, A. Boucheham, M. Boumaour, M. Kechouane

Erschienen in: Journal of Electronic Materials | Ausgabe 2/2019

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Metadaten
Titel
Annealing Impact on Interface Properties of Sprayed Al2O3-Based MIS Structure for Silicon Surface Passivation
verfasst von
L. Zougar
S. Sali
S. Kermadi
A. Boucheham
M. Boumaour
M. Kechouane
Publikationsdatum
27.11.2018
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Electronic Materials / Ausgabe 2/2019
Print ISSN: 0361-5235
Elektronische ISSN: 1543-186X
DOI
https://doi.org/10.1007/s11664-018-6800-x

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