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JOT Journal für Oberflächentechnik
Erschienen in: JOT Journal für Oberflächentechnik 2/2016

01.02.2016 | Dünne Schichten

Barriereschichten für aktive Mikrosysteme in der Medizintechnik

Vorteile durch plasmaunterstützte Atomlagenabscheidung

verfasst von: Daniel Hähnel

Erschienen in: JOT Journal für Oberflächentechnik | Ausgabe 2/2016

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Auszug

Die konventionelle thermische Atomlagenabscheidung kann durch den Einsatz von Plasmatechnologie neue Anwendungsfelder erschließen. Die speziellen Schichtstrukturen können unter anderem zur Verkapselung von flexiblen Mikroimplantaten dienen. …
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Literatur
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Metadaten
Titel
Barriereschichten für aktive Mikrosysteme in der Medizintechnik
Vorteile durch plasmaunterstützte Atomlagenabscheidung
verfasst von
Daniel Hähnel
Publikationsdatum
01.02.2016
Verlag
Springer Fachmedien Wiesbaden
Erschienen in
JOT Journal für Oberflächentechnik / Ausgabe 2/2016
Print ISSN: 0940-8789
Elektronische ISSN: 2192-869X
DOI
https://doi.org/10.1007/s35144-016-0002-1

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