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Buckling-Induced Delamination of TiN Film on Stainless Steel in the Presence of Stress Concentration

  • 22.03.2021
  • Original Research Article
Erschienen in:

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Abstract

Der Artikel geht auf das komplexe Zusammenspiel zwischen Druckspannung und Delamination von TiN-Folien auf Edelstahlsubstraten ein, insbesondere in Anwesenheit von Spannungskonzentrationen. Es präsentiert eine umfassende Studie über das mechanische Verhalten dünner Schichten, die Zugbeanspruchungen ausgesetzt sind, wobei der Schwerpunkt auf der Entwicklung von Rissen in den Kanälen und anschließendem Knicken liegt. Die Forschung setzt sowohl optische als auch Rasterelektronenmikroskopie sowie transiente Thermoreflexionen ein, um die abgegrenzten Regionen zu charakterisieren und die Größe teilweise abgegrenzter Filme zu bewerten. Die Ergebnisse unterstreichen die entscheidende Rolle der Dehnungsverteilung um eine Kerbe bei der Einleitung von Knickungen und Delaminierungen und bieten wertvolle Einblicke in die Versagensmechanismen von Schutzschichten unter Stress.

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Titel
Buckling-Induced Delamination of TiN Film on Stainless Steel in the Presence of Stress Concentration
Verfasst von
K. Jagannadham
Publikationsdatum
22.03.2021
Verlag
Springer US
Erschienen in
Metallurgical and Materials Transactions A / Ausgabe 6/2021
Print ISSN: 1073-5623
Elektronische ISSN: 1543-1940
DOI
https://doi.org/10.1007/s11661-021-06228-2
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