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2011 | OriginalPaper | Buchkapitel

Capacitive Forces

verfasst von : Prof. Dr. rer. nat. Werner Karl Schomburg

Erschienen in: Introduction to Microsystem Design

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

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Abstract

Capacitive forces transform a voltage directly into a movement and they are insensitive to temperature changes. These are the main reasons why capacitive forces are employed so often in microtechnique.

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Literatur
5.
Menz W, Mohr J, Paul O (2001) Microsystem technology. Wiley-VCH Verlag GmbH, Weinheim. ISBN 3-527-29634-4
Metadaten
Titel
Capacitive Forces
verfasst von
Prof. Dr. rer. nat. Werner Karl Schomburg
Copyright-Jahr
2011
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Buch
Introduction to Microsystem Design

Print ISBN: 978-3-642-19488-7

Electronic ISBN: 978-3-642-19489-4

Copyright-Jahr: 2011

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-642-19489-4_11

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