Skip to main content

Structural and chemical characterization

  • Chapter
  • First Online:
The Physics of Hydrogenated Amorphous Silicon I

Part of the book series: Topics in Applied Physics ((TAP,volume 55))

This is a preview of subscription content, log in via an institution to check access.

Access this chapter

Institutional subscriptions

Preview

Unable to display preview. Download preview PDF.

Unable to display preview. Download preview PDF.

References

  1. R. C. Chittick, J. H. Alexander, H. F. Sterling: J. Electrochem. Soc. 116, 77 (1969)

    Article  Google Scholar 

  2. R. C. Chittick: J. Non-Cryst. Solids 3, 255 (1970)

    Article  ADS  Google Scholar 

  3. W. E. Spear, P. G. LeComber: Solid State Commun. 17, 1193 (1975)

    Article  ADS  Google Scholar 

  4. A. J. Lewis, G. A. N. Connell, W. Paul, J. R. Pawlik, R. J. Temkin: AIP Conf. Proc. 20, 27 (1974)

    ADS  Google Scholar 

  5. A. Triska, D. Dennison, H. Fritzsche: Bull. Am. Phys. Soc. 20, 392 (1975)

    Google Scholar 

  6. J. C. Knights: AIP Conf. Proc. 31, 296, AIP New York (1976)

    Article  ADS  Google Scholar 

  7. A. Barna, P. B. Barna, G. Radnoczi, L. Toth, P. Thomas: Phys. Stat. Sol. (a) 41, 81 (1977)

    Article  ADS  Google Scholar 

  8. J. M. Ogier: Annales de Chimie et de Physique 20, 5 (1880)

    Google Scholar 

  9. H. J. Eméleus, K. Stewart: Trans. Faraday Soc. 32, 1577 (1936)

    Article  Google Scholar 

  10. W. L. Jolly: Adv. Chemistry 80, 156 (Am. Chem. Soc., New York 1969)

    Article  Google Scholar 

  11. R. Mosseri, C. Sella, J. Dixmier: Phys. Stat. Sol. (a) 52, 475 (1979)

    Article  ADS  Google Scholar 

  12. J. F. Graczyk: Phys. Stat. Sol. (a) 55, 231 (1979)

    Article  ADS  Google Scholar 

  13. T. A. Postol, C. M. Falco, R. T. Kampwirth, I. K. Schuller, W. B. Yelon: Phys. Rev. Lett. 45, 648 (1980)

    Article  ADS  Google Scholar 

  14. D. E. Polk: J. Non-Cryst. Solids 5, 365 (1971)

    Article  ADS  Google Scholar 

  15. J. C. Knights, T. M. Hayes, J. C. Mikkelsen Jr.: Phys. Rev. Lett. 39, 712 (1977)

    Article  ADS  Google Scholar 

  16. A. Pines, M. G. Gibby, J. Waugh: J. Chem. Phys. 59, 569 (1973)

    Article  ADS  Google Scholar 

  17. J. A. Reimer, P. Dubois-Murphy, B. C. Gerstein, J. C. Knights: J. Chem. Phys. 74, 1501 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  18. B. Lamotte, R. Rousseau, A. Chenevas-Paule: J. Physique 42, p. C4–839 (1981)

    Google Scholar 

  19. F. R. Jeffrey, P. Dubois Murphy, B. C. Gerstein: Phys. Rev. B 23, 2099 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  20. L. Guttman, W. Y. Ching, J. Rath: Phys. Rev. Lett. 44, 1513 (1980)

    Article  ADS  Google Scholar 

  21. M. H. Brodsky, M. Cardona, J. J. Cuomo: Phys. Rev. B 16, 3556 (1977)

    Article  ADS  Google Scholar 

  22. J. E. Smith Jr., M. H. Brodsky, B. L. Crowder, M. I. Nathan: In Proc. 2nd Intern. Conf. on Light Scattering in Solids, ed. by M. Balkanski (Flammarion, Paris 1971) p. 330

    Google Scholar 

  23. R. J. Nemanich, S. A. Solin: Phys. Rev. B 20, 392 (1979)

    Article  ADS  Google Scholar 

  24. R. J. Nemanich, S. A. Solin, R. M. Martin: Phys. Rev. B 23, 6348 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  25. S. Veprek, Z. Iqbal, H. R. Oswald, F. A. Sarotl, J. J. Wagner: J. Physique 42, C4–251 (1981)

    Google Scholar 

  26. W. E. Spear, G. Willeke, P. G. LeComber, A. G. Fitzgerald: J. Physique 42, C4–257 (1981)

    Google Scholar 

  27. R. Tsu, M. Izu, S. R. Ovshinsky, F. H. Pollak: Solid State Commun. 36, 817 (1980)

    Article  ADS  Google Scholar 

  28. S. Usui, M. Kikuchi: J. Non-Cryst. Solids 34, 1 (1979)

    Article  ADS  Google Scholar 

  29. Z. Iqbal, S. Veprek, A. P. Webb, P. Capezzuto: Sol. State Commun. 37, 993 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  30. A. Barna, P. B. Barna, G. Radnoczi, H. Sugawara, P. Thomas: Thin Solid Films 48, 163 (1978)

    Article  ADS  Google Scholar 

  31. G. Abowitz, L. B. Leder: J. Vac. Sci. Tech. 15, 1746 (1978)

    Article  ADS  Google Scholar 

  32. G. S. Cargill III: Phys. Rev. Lett. 28, 1372 (1972)

    Article  ADS  Google Scholar 

  33. R. Messier, S. V. Krishnaswamy, L. R. Gilbert, P. Schwab: J. Appl. Phys. 51, 1611 (1980)

    Article  ADS  Google Scholar 

  34. A. G. Dirks, H. J. Leamy: IEEE Trans. Mag.-14, 835 (1978)

    Article  ADS  Google Scholar 

  35. H. J. Leamy, A. G. Dirks: J. Phys. D 10, L95 (1977)

    Article  ADS  Google Scholar 

  36. R. J. Nemanich, D. K. Biegelsen, M. Rosenblum: J. Phys. Soc. Japan 49 A, 1189 (1980)

    Google Scholar 

  37. P. Swab, S. V. Krishnaswamy, R. Messier: J. Vac. Sci. Techn. 17, 362 (1980)

    Article  ADS  Google Scholar 

  38. S. R. Herd: Phys. Stat. Sol. A 44, 363 (1977)

    Article  ADS  Google Scholar 

  39. J. C. Knights, R. A. Lujan: Appl. Phys. Lett. 35, 244 (1979)

    Article  ADS  Google Scholar 

  40. R. C. Ross, R. Messier: J. Appl. Phys. 52, 5329 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  41. T. M. Donovan: Final Technical Report, Contract DS-9-8142-4 (Naval Weapons Center, China Lake, CA 1981)

    Google Scholar 

  42. A. Chenevas-Paule: Private communication

    Google Scholar 

  43. R. Messier, R. C. Ross: J. Appl. Phys., to be published

    Google Scholar 

  44. P. D'Antonio, J. H. Konnert: Phys. Rev. Lett. 43, 1161 (1979)

    Article  ADS  Google Scholar 

  45. A. J. Leadbetter, A. A. M. Rashid, R. M. Richardson, A. F. Wright, J. C. Knights: Solid State Commun. 33, 973 (1980)

    Article  ADS  Google Scholar 

  46. J. C. Knights: J. Non-Cryst. Solids 35/36, 159 (1980)

    Article  ADS  Google Scholar 

  47. J. C. Knights, R. A. Lujan, M. P. Rosenblum, R. A. Street, D. K. Biegelsen: Appl. Phys. Lett. 38, 331 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  48. A. Chenevas-Paule: Private communication

    Google Scholar 

  49. J. F. Sadoc, R. Mosseri: J. Physique 42, C4–189 (1981)

    Google Scholar 

  50. E. A. Schiff, P. D. Persans, H. Fritzsche, V. Akopyan: Appl. Phys. Lett. 38, 92 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  51. R. F. Bunshah, R. S. Juntz: J. Vac. Sci. Tech. 9, 1404 (1972)

    Article  ADS  Google Scholar 

  52. J. A. Thornton: Ann. Rev. Mat. Sci. 7, 239 (1977)

    Article  ADS  Google Scholar 

  53. W. A. Lanford, H. P. Trautvetter, J. F. Ziegler, J. Keller: Appl. Phys. Lett. 28, 566 (1976)

    Article  ADS  Google Scholar 

  54. J. F. Ziegler et al.: Nucl. Inst. Meth. 149, 19 (1978)

    Article  ADS  Google Scholar 

  55. A. Benninghoven, C. A. Evans Jr., R. A. Powell, R. Shimizu, H. A. Storms (eds.): Secondary Ion Mass Spectrometry SIMS II, Springer Ser. Chem. Phys., Vol. 9 (Springer, Berlin, Heidelberg, New York 1979)

    Google Scholar 

  56. A. Benninghoven, J. Giber, J. László, M. Riedel, H. W. Werner (eds.): Secondary Ion Mass Spectrometry SIMS III, Springer Ser. Chem. Phys., Vol. 19 (Springer, Berlin, Heidelberg, New York 1982)

    Google Scholar 

  57. G. C. Clark, C. W. White, D. D. Allred, B. R. Appleton, C. We Magee, D. G. Carlson: Appl. Phys. Lett. 31, 582 (1977)

    Article  ADS  Google Scholar 

  58. C. W. Magee, E. M. Botnick: J. Vac. Sci. Tech. 19, 47 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  59. H. Fritzsche, M. Tanielian, C. C. Tsai, P. J. Gaczi: J. Appl. Phys. 50, 3368 (1979)

    Article  ADS  Google Scholar 

  60. J. Reimer, J. Knights: Unpublished work

    Google Scholar 

  61. G. A. N. Connell, J. R. Pawlik: Phys. Rev. B 13, 787 (1976)

    ADS  Google Scholar 

  62. C. J. Fang, K. J. Gruntz, L. Ley, M. Cardona, F. J. Demond, G. Müller, S. Kalbitzer: J. Non-Cryst. Solids 35/36, 255 (1980)

    Article  Google Scholar 

  63. S. Oguz, D. A. Anderson, W. Paul, H. J. Stein: Phys. Rev. B 22, 880 (1980)

    ADS  Google Scholar 

  64. M. Taniguchi, M. Hirose, Y. Osaka: J. Non-Cryst. Solids 35/36, 189 (1980)

    Article  Google Scholar 

  65. R. C. Ross, I. S. T. Tsong, R. Messier, W. A. Lanford, C. Burman: J. Vac. Sci. Tech. 20, 406 (1982)

    Article  ADS  Google Scholar 

  66. M. Milleville, W. Fuhs, F. J. Demond, H. Mannsperger, G. Müller, S. Kalbitzer: Appl. Phys. Lett. 34, 173 (1979)

    Article  ADS  Google Scholar 

  67. J. C. Knights, G. Lucovsky, R. Nemanich: Phil. Mag. B 37, 467 (1977)

    Google Scholar 

  68. F. J. Demond, G. Müller, H. Damjantschitsch, H. Mannsperger, S. Kalbitzer, P. G. LeComber, W. E. Spear: J. Physique 42, C4–779 (1981)

    Google Scholar 

  69. D. E. Carlson, C. W. Magee, A. R. Triano: J. Electrochem. Soc. 126, 688 (1979)

    Article  Google Scholar 

  70. B. von Roedern, L. Ley, M. Cardona, F. W. Smith: Phil. Mag. B 40, 433 (1979)

    Google Scholar 

  71. D. I. Jones, R. A. Gibson, P. G. LeComber, W. E. Spear: Solar Energy Mat. 2, 93 (1979)

    Article  ADS  Google Scholar 

  72. S. V. Krishnaswamy, R. Messier, C. S. Wu, S. B. McLane, T. T. Tsong: J. Vac. Sci. Tech. 18, 309 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  73. G. Müller, F. Demond, S. Kalbitzer, H. Damjantschitsch, H. Mannsperger, W. E. Spear, P. G. LeComber, R. A. Gibson: Phil. Mag. B 41, 571 (1980)

    Google Scholar 

  74. W. Beyer, H. Wagner: J. Physique 42, C4–783 (1981)

    Google Scholar 

  75. J. C. Zesch, R. A. Lujan, V. R. Deline: J. Non-Cryst. Solids 35/36, 273 (1980)

    Article  Google Scholar 

  76. J. Chevallier, W. Beyer: Phys. Stat. Sol. (a) in press

    Google Scholar 

  77. R. A. Street, D. K. Biegelsen, J. C. Knights: Phys. Rev. B 24, 969 (1981)

    ADS  Google Scholar 

  78. A. Deneuville, J. C. Bruyère, M. Toulemonde, J. J. Grob, P. Siffert: AIP Conf. Proc. 73, 120 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  79. A. Delahoy, R. W. Griffith: J. Appl. Phys. 52, 6337 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  80. J. Knights, J. C. Mikkelsen Jr., B. Wacker: Unpublished results

    Google Scholar 

  81. K. Tanaka, S. Yamasaki, K. Nakagawa, A. Matsuda, H. Okushi, M. Matsumura, S. Iizima: J. Non-Cryst. Solids 35/36, 475 (1980)

    Article  Google Scholar 

  82. C. C. Tsai, H. Fritzsche: Solar Energy Mat. 1, 29 (1979)

    Article  Google Scholar 

  83. R. C. Ross, R. Messier: J. Appl. Phys., to be published; R. C. Ross: PhD Thesis, The Pennsylvania State University (1981)

    Google Scholar 

  84. Y. Katayama, T. Shimada, K. Usami, E. Maruyama: J. Physique 42, C4–787 (1981)

    Google Scholar 

  85. W. Paul, D. A. Anderson: Solar Energy Mat. 5, 229 (1981)

    Article  Google Scholar 

  86. J. C. Knights: Japan J. Appl. Phys. 18, Supp. 18-1, 101 (1979)

    Google Scholar 

  87. G. Lucovsky, R. J. Nemanich, J. C. Knights: Phys. Rev. B 19, 2064 (1979)

    ADS  Google Scholar 

  88. D. K. Biegelsen, R. A. Street, C. C. Tsai, J. C. Knights: Phys. Rev. B 20, 4839 (1979)

    ADS  Google Scholar 

  89. A. J. Leadbetter, A. A. M. Rashid, N. Colenutt, A. F. Wright, J. C. Knights: Solid State Commun. 38, 957 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  90. C. C. Tsai, H. Fritzsche, M. H. Tanielian, P. J. Gaczi, P. D. Persans, M. A. Vesaghi: Proc. 7th Intern. Conf. on Amorphous and Liquid Semiconductors, ed. by W. E. Spear (CICL Edinburgh 1977) p. 339

    Google Scholar 

  91. P. John, I. M. Odeh, M. J. K. Thomas, M. J. Tricker, F. Riddoch, J. I. B. Wilson: Phil. Mag. B 42, 671 (1980)

    Google Scholar 

  92. K. Zellama, P. Germain, S. Squelard, J. Monge, E. Ligeon: J. Non-Cryst. Solids 35/36, 225 (1980)

    Article  Google Scholar 

  93. J. A. Reimer: J. Physique 42, C4–715 (1981)

    Google Scholar 

  94. M. E. Lowry, R. G. Barnes, D. R. Torgeson, F. R. Jeffrey: Solid State Commun. 38, 113 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  95. W. E. Carlos, P. C. Taylor: Phys. Rev. Lett. 45, 358 (1980)

    Article  ADS  Google Scholar 

  96. S. Ueda, M. Kumeda, T. Shimizu: Japan J. Appl. Phys. 20, 6 (1981)

    Article  Google Scholar 

  97. J. A. Reimer, R. W. Vaughan, J. C. Knights: Phys. Rev. Lett. 44, 193 (1980)

    Article  ADS  Google Scholar 

  98. J. A. Reimer, R. W. Vaughan, J. C. Knights: Phys. Rev. B 24, 3360 (1981)

    ADS  Google Scholar 

  99. W. E. Carlos, P. C. Taylor: Phys. Rev. B 26, 3605–3616 (1982)

    ADS  Google Scholar 

  100. W. E. Carlos, P. C. Taylor: Phys. Rev. B 25, 1435 (American Institute of Physics 1982)

    Article  ADS  Google Scholar 

  101. F. R. Jeffrey, M. E. Lowry, M. L. S. Garcia, R. G. Barnes, D. R. Torgeson: AIP Conf. Proc. 73, 83 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  102. J. A. Reimer, J. C. Knights: AIP Conf. Proc. 73, 78 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  103. J. A. Reimer, R. W. Vaughan, J. C. Knights: Solid State Commun. 37, 161 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  104. S. Ueda, M. Kumeda, T. Shimizu: J. Physique 42, C4–729 (1981)

    Google Scholar 

  105. W. E. Carlos, P. C. Taylor: J. Physique 42, C4–725 (1981)

    Google Scholar 

  106. W. E. Carlos, P. C. Taylor, S. Oguz, W. Paul: AIP Conf. Proc. 73, 67 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  107. B. Movaghar, L. Schweitzer: AIP Conf. Proc. 73, 73 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  108. M. Conradi, R. Norberg: Phys. Rev. B 24, 2285 (1981)

    ADS  Google Scholar 

  109. M. S. Conradi, K. Luszczynski, R. E. Norberg: Phys. Rev. B 20, 2594 (1979)

    ADS  Google Scholar 

  110. J. A. Reimer, R. W. Vaughan, J. C. Knights, R. A. Lujan: J. Vac. Sci. Tech. 19, 53 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  111. J. A. Reimer, R. W. Vaughan, J. C. Knights: Phys. Rev. B 23, 2567 (1981)

    ADS  Google Scholar 

  112. D. J. Leopold, J. B. Boyce, P. A. Fedders, R. E. Norberg: Phys. Rev. B 26, 6053 (1982)

    ADS  Google Scholar 

  113. S. G. Greenbaum, W. E. Carlos, P. C. Taylor: Phys. Rev. B 43, 663 (1982)

    Google Scholar 

  114. C. C. Tsai, R. J. Nemanich: J. Non-Cryst. Solids 35 and 36, 1203 (1980)

    Article  Google Scholar 

  115. W. B. Jackson, D. K. Biegelsen, R. J. Nemanich, J. C. Knights: Appl. Phys. Lett. 42, 105 (1983)

    Article  ADS  Google Scholar 

  116. H. Fritzsche, C. C. Tsai: Solar Energy Mat. 1, 471 (1979)

    Article  ADS  Google Scholar 

  117. D. E. Aspnes, B. G. Bagley, A. A. Studna, A. C. Adams, F. B. Alexander Jr.: In Tetrahedrally Bonded Amorphous Semiconductors, ed. by R. A. Street, D. K. Biegelsen, J. C. Knights (AIP, New York 1981) p. 307

    Google Scholar 

  118. R. A. Street, J. C. Knights: Phil. Mag. B 43, 1091 (1981)

    Google Scholar 

  119. G. A. N. Connell, R. J. Nemanich, C. C. Tsai: Appl. Phys. Lett. 36, 31 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  120. G. Ottaviani: J. Vac. Sci. Tech. 16, 1112 (1979)

    Article  ADS  Google Scholar 

  121. R. W. Bené, R. M. Walser: In Thin Film Phenomena-Interfaces and Interactions, ed. by J. E. E. Baglin, J. M. Poate (Electrochemical Soc., Princeton, NJ 1978) p. 21

    Google Scholar 

  122. P. S. Ho, P. E. Schmid, H. Föll: Phys. Rev. Lett. 46, 782 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  123. C. C. Tsai, R. J. Nemanich, T. W. Sigmon: J. Phys. Soc. Japan 49 Suppl. A, 1265 (1980)

    Google Scholar 

  124. R. J. Nemanich, C. C. Tsai, T. W. Sigmon: Phys. Rev. B 23, 6828 (1981)

    ADS  Google Scholar 

  125. R. J. Nemanich, C. C. Tsai, M. J. Thompson, T. W. Sigmon: J. Vac. Sci. Tech. 19, 685 (1981)

    Article  ADS  Google Scholar 

  126. R. J. Nemanich, C. C. Tsai: J. Physique 42, C6–822 (1981)

    Google Scholar 

  127. C. C. Tsai, M. J. Thompson, R. J. Nemanich: J. Physique 42, C4–1077 (1981)

    Google Scholar 

  128. C. C. Tsai, R. J. Nemanich, M. J. Thompson: J. Vac. Sci. Tech. 21, 632 (1982)

    Article  ADS  Google Scholar 

  129. C. C. Tsai, R. J. Nemanich, M. J. Thompson, B. L. Stafford: Physica B, in press

    Google Scholar 

  130. S. R. Herd, P. Chaudhari, M. H. Brodsky: J. Non-Cryst. Solids 7, 309 (1972)

    Article  ADS  Google Scholar 

  131. M. J. Thompson, N. M. Johnson, R. J. Nemanich, C. C. Tsai: Appl. Phys. Lett. 39, 274 (1982)

    Article  ADS  Google Scholar 

  132. R. A. Street: Phys. Rev. Lett. 51 (to be published)

    Google Scholar 

Download references

Authors

Editor information

John D. Joannopoulos PhD Gerald Lucovsky PhD

Rights and permissions

Reprints and permissions

Copyright information

© 1984 Springer-Verlag

About this chapter

Cite this chapter

Knights, J.C. (1984). Structural and chemical characterization. In: Joannopoulos, J.D., Lucovsky, G. (eds) The Physics of Hydrogenated Amorphous Silicon I. Topics in Applied Physics, vol 55. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/3-540-12807-7_16

Download citation

  • DOI: https://doi.org/10.1007/3-540-12807-7_16

  • Published:

  • Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg

  • Print ISBN: 978-3-540-12807-6

  • Online ISBN: 978-3-540-38741-1

  • eBook Packages: Springer Book Archive

Publish with us

Policies and ethics