Wichtige Größen für die Dimensionierung von Elektronenmikroskopen

Zusammenfassung

In früheren Abschnitten (B II 6 und C II 6) hat der Verfasser auf die Bedeutung der unvermeidlichen magnetischen Störfelder für Elektronenmikroskope hingewiesen und die durch Magnetfeldschwankungen eintretende Begrenzung des Auflösungsvermögens quantitativ angegeben. Beispielsweise darf die Änderung der magnetischen Feldstärke senkrecht zur optischen Achse am Ort des Strahlenganges für 3 mm Brennweite und die Annahmen der Abb·45 etwa 6·10⁻⁶ Gauß (bzw. H_eff = 2·10⁻⁶ Gauß bei magnetischen Wechselfeldern) nicht übersteigen, wenn ein Auflösungsvermögen von 10⁻⁶ mm angestrebt wird. Um den ungefähren Betrag der Änderungen des magnetischen Gleichfeldes während der Bildbelichtungszeit und die Größenordnung der Streufelder unter den Verhältnissen der Praxis klarzustellen, wurden eine größere Anzahl Messungen durchgeführt, über die in den folgenden Zeilen berichtet werden soll. Diese Messungen ergeben zusammen mit der schon erwähnten Darstellung Abb. 45 eine zahlenmäßige Unterlage über die erforderliche Güte einer magnetischen Abschirmung der störempfindlichen Bereiche des Elektronenstrahlenganges.