Die praktische Ausführung des Elektronenmikroskopes

Zusammenfassung

Die Dimensionierung eines Elektronenmikroskopes läuft zunächst darauf hinaus, die Betriebsanodenspannung und die Daten des Objektivs festzulegen. Die Ermittlung der entsprechenden Daten besteht darin, daß jene Betriebsverhältnisse berechnet werden, bei denen die wichtigsten Abbildungsfehler ungefähr gleiche Größe annehmen. Durch diese Fehleranpassung wird ein günstigstes Auflösungsvermögen erreicht. Da ein Teil der Abbildungsfehler von den Objektdaten abhängt, läßt sich eine günstigste Dimensionierung immer nur für ein ganz bestimmtes Objekt angeben, solange nicht, wie bei Objekten extrem geringer Massendicke, der Einfluß der durch Elektronenstreuung im Objekt verursachten Abbildungsfehler hinter die übrigen Abbildungsfehler zurücktritt. Die verschiedenen Massendicken der Objekte zugeordnete günstigste Bemessung eines Elektronenmikroskopes läßt sich in einfacher Weise aus mehreren, für verschiedene Anodenspannungen berechneten Darstellungen nach Art der Abb. 47 finden. Die zuletzt genannte Abbildung gilt für einen Anodenspannungswert von 60 kV, der, wie aus den Schnittpunkten der verschiedenen Geraden hervorgeht, hiermit einer Massendicke des Objekts von etwa 5 •10⁻⁵ g • mm/cm³ harmoniert. Objekte dieser Massendicke entsprechen etwa den dünnsten, praktisch vorkommenden Objekten auf Trägerfolien, denn die Massendicke der dünnsten Trägerfolien liegt bereits in der Größenordnung 10⁻⁵ g • mm/cm³. Für Objekte mit noch kleinerer Massendicke, z. B. für die Wiedergabe von ohne Trägerfolie in den Strahlengang gebrachten Objekten mit Silhouettencharakter kann grundsätzlich mit geringerer Anodenspannung als 60 kV gearbeitet werden.