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Characterization of the electrical and thermal properties of a metallic thin-film line

  • 06.04.2018
  • Technical Paper
Erschienen in:

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Abstract

In this work, an evaluation method was presented to systematically characterize the electrical and thermal properties of a metallic thin-film line. A series of current-stressing experiments were carried out on the Ag thin-film lines with different geometrical properties on substrates. In combination with the corresponding electrothermal analyses, the temperature-dependent resistivity and thermal conductivity of the Ag thin-film lines, as well as interfacial thermal conductance between the lines and their substrates, were able to be characterized. These characterizations were used to predict the melting current of the Ag thin-film lines, which show good consistency with the experimental values. They therefore validate the effectiveness of the present evaluation method, which will greatly contribute to the development of next-generational electronics with ideal thermal designs.

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Titel
Characterization of the electrical and thermal properties of a metallic thin-film line
Verfasst von
Takahiro Sasaki
Yuan Li
Masumi Saka
Publikationsdatum
06.04.2018
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 9/2018
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-018-3878-2
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