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Erschienen in:
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2019 | OriginalPaper | Buchkapitel

Commentary—Are There Still Places for Gallium FIB?

verfasst von : Jian Li

Erschienen in: Characterization of Minerals, Metals, and Materials 2019

Verlag: Springer International Publishing

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Abstract

Since developed in the mid-1980s, focused ion beam (FIB) technology has become quite mature. From the initial single Ga ion beam system to nowadays dual-beam FIB, and from application only in semiconductor industry to applications to biological, mineral and materials engineering, FIB systems seemed to have almost maxed out their capability. The question arises is if the Ga FIB will still hold its place after the release of the new generation of plasma FIB in 2015. This paper provides a high-level overview of the two FIB systems.

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Literatur
1.
Seliger RL, Fleming WP (1974) Focused ion beams in micro-fabrication. J Appl Phys 45:1416–1422CrossRef
2.
Orloff J, Sudraud P (1985) Design of a 100 kV high resolution focused ion beam column with a liquid metal ion source. Microelectron Eng 3:161–165CrossRef
3.
Phaneuf MW (1999) Imaging, spectroscopy and spectroscopic imaging with an energy-filtered field emission TEM. Micron 30:277–288
4.
Giannuzzi LA, Stevie FA (1999) A review of focused ion beam milling techniques for TEM specimen preparation. Micron 30:197–204CrossRef
5.
Phaneuf MW, Li, J, Malis T (1998) FIB techniques for analysis of metallurgical specimens. Microsc Microanal 4:492–493
6.
Li J, McMahon GS, Phaneuf MW (2001) In: Proceedings of the microscopically society of Canada, vol XXVIII, pp 26–27
7.
Anderson R (2002) Comparison of FIB TEM specimen preparation methods. In: Proceeding of microscopy and microanalysis, vol 8, pp 44–45
8.
Li J (2006) Focused ion beam microscope—more than a precision ion milling machine. J Metal 58(3):27–31
9.
Jian L, Malis T, Dionne S (2006) Recent advances in FIB TEM specimen preparation techniques. J Mater Charact 57:64–70
10.
Li J, Elboujdaini M, Gao M, Revie RW (2008) Formation of plastic zone at the SCC tip in a pipeline experienced hydrostatic testing. Mater Sci Eng A 486:496–502CrossRef
11.
Phaneuf MW (2018) Presentation at 11th annual FIB SEM workshop, McMaster University, Hamilton, Ontario, Canada, 30 Apr–2 May 2018
12.
Smith NS et al (2006) High brightness inductively coupled plasma source for high current focused ion beam applications. J Vacuum Sci Technol B 24(6):2902–2906CrossRef
13.
Phaneuf MW, Jian L, Shuman RF, Noll K, Casey JD Jr (2003) Apparatus and method for reducing differential sputter rates. US patent #6,641,705. Issued 04 Nov 2003
14.
Baillet J et al (2018) Surface damage on polycrystalline-SiC by xenon ion irradiation at high fluence. J Nucl Mater 503:140–150 ElsevierCrossRef
15.
Li Jian, Liu P (2015) Specimen temperature rise considerations during FIB milling. J Microsc 63(1):3–10
16.
Jian L (2008) Advances in materials engineering using state-of-the-art microstructural characterization tools. In: Olivante LV (ed) New Material Science Research. Nova Science Publisher. ISBN-13 978-1-60021-654-1
Metadaten
Titel
Commentary—Are There Still Places for Gallium FIB?
verfasst von
Jian Li
Copyright-Jahr
2019
Buch
Characterization of Minerals, Metals, and Materials 2019

Print ISBN: 978-3-030-05748-0

Electronic ISBN: 978-3-030-05749-7

Copyright-Jahr: 2019

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-030-05749-7_1

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