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Comparative Analysis of Highly Sensitive Ammonia Gas Sensors Based on ZnO, CdO, and CdZnO Thin Films

  • 15.11.2023
  • Original Research Article
Erschienen in:

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Abstract

Der Artikel präsentiert eine detaillierte vergleichende Analyse von ZnO-, CdO- und CdZnO-Dünnschichten für Ammoniakgassensoren. Es werden die Vorteile dieser Materialien diskutiert, darunter hohe Empfindlichkeit, geringer Stromverbrauch und Kompatibilität mit Mikrofabrikationstechniken. Die Studie untersucht die Abscheidungsmethoden für diese dünnen Schichten, wie CVD, Sputtern und ALD für CdO und PLD, NSP und Sol-Gel für ZnO. Die synergistischen Effekte von CdO und ZnO in CdZnO-Dünnschichten werden hervorgehoben und zeigen verbesserte Leistungen in Bezug auf Sensitivität, Reaktionszeit und Selektivität gegenüber Ammoniakgas. Der Herstellungsprozess mit der Pyrolysemethode des Sprühnebels wird detailliert beschrieben, einschließlich der Herstellung von Lösungen, des Sprühprozesses und der Charakterisierung der Folien. Röntgenuntersuchung, REM-Analyse, optische Eigenschaften, elektrische Eigenschaften und Gassensorik der gefertigten Sensoren werden diskutiert, was die überlegenen Sensorik des CdZnO-Geräts bei Raumtemperatur demonstriert. Der Artikel schließt mit der Betonung der außergewöhnlichen Leistung des CdZnO-basierten Ammoniakgassensors und seines Potenzials für fortschrittliche Gassensortechnologien.

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Titel
Comparative Analysis of Highly Sensitive Ammonia Gas Sensors Based on ZnO, CdO, and CdZnO Thin Films
Verfasst von
B. Amudhavalli
R. Mariappan
M. Prasath
Publikationsdatum
15.11.2023
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Electronic Materials / Ausgabe 1/2024
Print ISSN: 0361-5235
Elektronische ISSN: 1543-186X
DOI
https://doi.org/10.1007/s11664-023-10800-4
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