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Frontiers of Mechanical Engineering

Erschienen in:

Open Access 02.05.2019 | Research Article

Comprehensive analysis of the influence of structural and dynamic parameters on the accuracy of nano-precision positioning stages

verfasst von: Chengyuan Liang, Fang Yuan, Xuedong Chen, Wei Jiang, Lizhan Zeng, Xin Luo

Erschienen in: Frontiers of Mechanical Engineering | Ausgabe 3/2019

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Titel: Comprehensive analysis of the influence of structural and dynamic parameters on the accuracy of nano-precision positioning stages
verfasst von: Chengyuan Liang
Fang Yuan
Xuedong Chen
Wei Jiang
Lizhan Zeng
Xin Luo
Publikationsdatum: 02.05.2019
Verlag: Higher Education Press
Erschienen in: Frontiers of Mechanical Engineering / Ausgabe 3/2019
Print ISSN: 2095-0233
Elektronische ISSN: 2095-0241
DOI: https://doi.org/10.1007/s11465-019-0538-x

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