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2015 | OriginalPaper | Buchkapitel

10. Coupled Electrostatic-Mechanical Systems

verfasst von : Manfred Kaltenbacher

Erschienen in: Numerical Simulation of Mechatronic Sensors and Actuators

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

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Abstract

In electrostatic-mechanical systems, the structure is subject both to rigid motions and elastic deformations by means of the electrostatic force.

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Literatur
1.
Zurück zum Zitat R. Zengerle, S. Kluge, M. Richter, R. Richter, A bidirectional silicon micropump, Proceedings of Sensor95 (Nuremberg) (1995), pp. 727–732 R. Zengerle, S. Kluge, M. Richter, R. Richter, A bidirectional silicon micropump, Proceedings of Sensor95 (Nuremberg) (1995), pp. 727–732
2.
Zurück zum Zitat G. Wunsch, Feldtheorie, 2 (Verlag Technik, Berlin, 1975) G. Wunsch, Feldtheorie, 2 (Verlag Technik, Berlin, 1975)
Metadaten
Titel
Coupled Electrostatic-Mechanical Systems
verfasst von
Manfred Kaltenbacher
Copyright-Jahr
2015
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-642-40170-1_10

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