1. Definition eines Mikrosystems

Das Kapitel definiert Mikrosysteme als technische Systeme, die durch den Einsatz von Mikrofertigungstechnologien hergestellt werden. Ein zentrales Merkmal ist das Vorhandensein eines mikroelektronischen Subsystems und mindestens einer weiteren Komponente. Mikrosysteme umfassen verschiedene Unterkategorien wie MEMS, MOEMS und BioMEMS. Die Systemstrukturen und Anwendungen von Mikrosystemen sind vielfältig und reichen von der Automobiltechnik bis hin zur Medizintechnik. Die Mikrosystemtechnik nutzt eine breite Palette von Mikrofertigungstechnologien, wobei die Silizium-Planartechnologie und die Silizium-Mikromechanik eine besondere Bedeutung haben. Diese Technologien werden im weiteren Verlauf detailliert erläutert.