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Design and analysis of dual gate MOSFET with spacer engineering

  • 20.02.2024
  • Technical Paper
Erschienen in:

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Abstract

Der Artikel stellt das Design und die Analyse eines Dual-Gate-MOSFETs mit Spacer-Engineering vor, um Kurzkanaleffekte zu adressieren, eine große Herausforderung in modernen MOSFETs. Das vorgeschlagene Gerät integriert dielektrische Materialien mit hohem und niedrigem K-Wert in den Gate-Stack, um Ableitströme zu verringern und den Durchlassstrom zu erhöhen. Durch den Einsatz von Abstandshaltern wird die Kanalsteuerung weiter optimiert und die Geräteleistung verbessert. Der Aufsatz vergleicht das vorgeschlagene Gerät mit herkömmlichen MOSFETs und zeigt eine überlegene Leistung in Bezug auf Ableitstrom, Transleitfähigkeit und Ableitstromreduzierung. Die Analyse wird durch umfassende Simulationen mit TCAD-Silvaco unterstützt, die eine gründliche Bewertung der Vorteile des vorgeschlagenen Designs ermöglichen. Der Artikel schließt mit der Hervorhebung des Potenzials des Dual-Gate-MOSFETs in der Abstandstechnik für stromsparende und hochschaltende Anwendungen, was ihn zu einer vielversprechenden Lösung für zukünftige Halbleiterbauelemente macht.

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Titel
Design and analysis of dual gate MOSFET with spacer engineering
Verfasst von
K. Praveen
D. Sai Vijay
Y. Subramanyam
T. Karthik
V. Satvik Reddy
K. Girija Sravani
Publikationsdatum
20.02.2024
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 6/2024
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-024-05610-5
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