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2017 | OriginalPaper | Buchkapitel

Design and Analytical Studies of a DLC Thin-Film Piezoresistive Pressure Microsensor

verfasst von : Luiz Antonio Rasia, Gabriela Leal, Leandro Léo Koberstein, Humber Furlan, Marcos Massi, Mariana Amorim Fraga

Erschienen in: Applied Computer Sciences in Engineering

Verlag: Springer International Publishing

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Abstract

Diamond-like carbon (DLC) thin films have been investigated for a wide range of applications due to their excellent electrical and mechanical properties. In the last decade, several researches and development activities have been conducted on the use of these thin films as piezoresistors in MEMS pressure sensors. This paper provides an overview on the design of a piezoresistive pressure sensor constituted of a silicon circular diaphragm with four DLC thin-film piezoresistors arranged in the Wheatstone bridge configuration. The sensor was designed from analytical formulas found in the literature.

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Literatur
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Metadaten
Titel
Design and Analytical Studies of a DLC Thin-Film Piezoresistive Pressure Microsensor
verfasst von
Luiz Antonio Rasia
Gabriela Leal
Leandro Léo Koberstein
Humber Furlan
Marcos Massi
Mariana Amorim Fraga
Copyright-Jahr
2017
Buch
Applied Computer Sciences in Engineering

Print ISBN: 978-3-319-66962-5

Electronic ISBN: 978-3-319-66963-2

Copyright-Jahr: 2017

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-319-66963-2_39