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Erschienen in:
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2014 | OriginalPaper | Buchkapitel

Design and Fabrication of a Compact p–v Probe for Acoustic Impedance Measurement

verfasst von : M. Piotto, A. N. Longhitano, P. Bruschi, M. Buiat, G. Sacchi, D. Stanzial

Erschienen in: Sensors and Microsystems

Verlag: Springer International Publishing

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Abstract

A novel p–v probe for the measurement of the acoustic impedance is proposed. The device is fabricated assembling a micromachined acoustic particle velocity sensor, a commercial microphone, and an electronic read-out interface. The velocity sensor consists of two integrated polysilicon heaters placed over suspended dielectric membranes. The sensor has been designed with a commercial CMOS process and fabricated using a simple post-processing technique. The electronic interface is based on a Wheatstone bridge and a low noise instrumentation amplifier. Preliminary tests confirm the functionality of the proposed probe.

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Literatur
1.
J.-P. Dalmont. Acoustic impedance measurement, part I: a review. Journal of Sound and Vibration, 243, 427–439 (2001)CrossRef
2.
H.-E. de Bree, P. Leussink, T. Korthorst, H. Jansen, T. S. J. Lammerink, M. Elwenspoek. The μ-flown: a novel device for measuring acoustic flows. Sensors and Actuators A: Physical, 54, 552–557 (1996)CrossRef
3.
P. Bruschi, F. Butti, M. Piotto. CMOS Compatible Acoustic Particle Velocity Sensors. Proc. of IEEE Sensors 2011, 28–31 Oct. 2011, Limerick (Ireland), 1405–1408 (2011)
4.
M. Piotto, M. Dei, F. Butti, G. Pennelli, P. Bruschi. Smart flow sensor with on-chip CMOS interface performing offset and pressure effect compensation. IEEE Sensors Journal, 12, 3309–3317 (2012)CrossRef
Metadaten
Titel
Design and Fabrication of a Compact p–v Probe for Acoustic Impedance Measurement
verfasst von
M. Piotto
A. N. Longhitano
P. Bruschi
M. Buiat
G. Sacchi
D. Stanzial
Copyright-Jahr
2014
Buch
Sensors and Microsystems

Print ISBN: 978-3-319-00683-3

Electronic ISBN: 978-3-319-00684-0

Copyright-Jahr: 2014

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-319-00684-0_10

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    Bildnachweise