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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 6/2018

17.11.2017 | Technical Paper

Design and manufacturing of X-band RF MEMS switches

verfasst von: Evgeny A. Savin, Kirill A. Chadin, Roman V. Kirtaev

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 6/2018

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Abstract

In this article, we present the results of the design of different geometries for X-band RF MEMS switches. A number of mechanical and RF optimizations are described along with the results of test manufacturing and measurements. Different concepts and geometries of capacitive shunt switches are compared in terms of their manufacturing complexity and achieved RF and mechanical parameters.
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Metadaten
Titel
Design and manufacturing of X-band RF MEMS switches
verfasst von
Evgeny A. Savin
Kirill A. Chadin
Roman V. Kirtaev
Publikationsdatum
17.11.2017
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 6/2018
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-017-3629-9

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