Skip to main content
main-content

Tipp

Weitere Artikel dieser Ausgabe durch Wischen aufrufen

11.02.2017 | Technical Paper | Ausgabe 12/2017

Microsystem Technologies 12/2017

Design and optimization of slit-resonant beam in a MEMS pressure sensor based on uncertainty analysis

Zeitschrift:
Microsystem Technologies > Ausgabe 12/2017
Autoren:
Huichao Shi, Shangchun Fan, Yuwen Zhang

Abstract

Uncertainty method incorporating the parametric uncertainty distribution is used to systematically investigate the influence of different slit sizes and excitation parameters on performance of double-clamped resonant beam with slit structure in a MEMS resonant pressure sensor, when inherent heat elevation of electro-thermal excitation is taken into account. The theoretical vibration model of double-clamped resonant beam with slit structure is established, and the inherent heat elevation of electro-thermal excitation is analyzed. The sample-based stochastic model is established to investigate the influence of different uncertain slit sizes and excitation parameters on performance of slit-resonant beam. Beside the theoretical vibration model, the neural network model is established and trained by sufficient data obtained by finite element method (FEM), and is used for the uncertainty method to obtain effects of different slit sizes on the performance of slit- resonant beam, which verified the results obtained by uncertainty method using the theoretical vibration model of slit-resonant beam. The results reveal the different influences of slit size and excitation parameters, which can be used as reference for design and optimization of the slit structure and sensor performances.

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu diesem Inhalt zu erhalten

Sie möchten Zugang zu diesem Inhalt erhalten? Dann informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit dem Kombi-Abo erhalten Sie vollen Zugriff auf über 1,8 Mio. Dokumente aus mehr als 61.000 Fachbüchern und rund 500 Fachzeitschriften aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit dem Technik-Abo erhalten Sie Zugriff auf über 1 Mio. Dokumente aus mehr als 40.000 Fachbüchern und 300 Fachzeitschriften aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Maschinenbau + Werkstoffe

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Literatur
Über diesen Artikel

Weitere Artikel der Ausgabe 12/2017

Microsystem Technologies 12/2017 Zur Ausgabe

BranchenIndex Online

Die B2B-Firmensuche für Industrie und Wirtschaft: Kostenfrei in Firmenprofilen nach Lieferanten, Herstellern, Dienstleistern und Händlern recherchieren.

Whitepaper

- ANZEIGE -

Globales Erdungssystem in urbanen Kabelnetzen

Bedingt durch die Altersstruktur vieler Kabelverteilnetze mit der damit verbundenen verminderten Isolationsfestigkeit oder durch fortschreitenden Kabelausbau ist es immer häufiger erforderlich, anstelle der Resonanz-Sternpunktserdung alternative Konzepte für die Sternpunktsbehandlung umzusetzen. Die damit verbundenen Fehlerortungskonzepte bzw. die Erhöhung der Restströme im Erdschlussfall führen jedoch aufgrund der hohen Fehlerströme zu neuen Anforderungen an die Erdungs- und Fehlerstromrückleitungs-Systeme. Lesen Sie hier über die Auswirkung von leitfähigen Strukturen auf die Stromaufteilung sowie die Potentialverhältnisse in urbanen Kabelnetzen bei stromstarken Erdschlüssen. Jetzt gratis downloaden!

Bildnachweise