Design and performance analysis of ohmic contact based SPMT RF MEMS switch

Der Artikel befasst sich mit dem Design und der Leistungsanalyse eines ohmschen kontaktbasierten SPMT-RF-MEMS-Schalters, der die Beschränkungen herkömmlicher Festkörperschalter adressiert. Es führt ein thermisches Buckelstrahl-Design ein, das die thermische Verformung effizient in seitliche Verdrängung umwandelt und dabei einen konstanten Elektrodenabstand und minimale Spannungsänderungen über einen weiten Temperaturbereich gewährleistet. Die Studie präsentiert auch eine umfassende Analyse der Leistung des Schalters, einschließlich HF-Eigenschaften, Isolation und Einfügeverluste. Darüber hinaus wird die Integration des Switches in eine SPMT-Konfiguration für drahtlose Kommunikationsanwendungen untersucht und sein Potenzial für Hochfrequenz- und Breitbandanwendungen hervorgehoben. Der Artikel schließt mit einem Vergleich des vorgeschlagenen Schalters mit der bestehenden Literatur, der seine überlegene Leistung in Bezug auf Betätigungsspannung, Schaltzeit und Isolation aufzeigt.