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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 3-4/2007

01.02.2007 | Technical paper

Design and UV-LIGA microfabrication of an electro-statically actuated power relay

verfasst von: S. J. Jeong, W. Wang

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 3-4/2007

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Abstract

A novel type of micro power relay has been designed and fabricated using UV-LIGA technology. The relay is based on electrostatic actuation and SU-8 was used as a functional material. The unique character of this novel power relay is that other than two SU-8 strips used both as electrical insulators mechanical connectors, all other components are made of metal or alloys. Because UV-LIGA technology has the advantages of broad material selection and the capability of making high aspect ratio microstructures, the technology is best suited for fabricating micro electro mechanical system power relays. A multi-step, multi-layer UV-LIGA process has been successfully developed and a prototype relay has been successfully fabricated.
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Literatur
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Metadaten
Titel
Design and UV-LIGA microfabrication of an electro-statically actuated power relay
verfasst von
S. J. Jeong
W. Wang
Publikationsdatum
01.02.2007
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 3-4/2007
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-006-0171-6

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