Skip to main content
main-content

Tipp

Weitere Artikel dieser Ausgabe durch Wischen aufrufen

16.10.2018 | Technical Paper | Ausgabe 4/2019

Microsystem Technologies 4/2019

Design of a novel lower-noise tunneling magnetoresistance micromachined gyroscope

Zeitschrift:
Microsystem Technologies > Ausgabe 4/2019
Autoren:
Mengwei Li, Xicong Ding, Shiyang Qin
Wichtige Hinweise
Mengwei Li and Xicong Ding contributed equally to this work.

Publisher's Note

Springer Nature remains neutral with regard to jurisdictional claims in published maps and institutional affiliations.

Abstract

The core technology behind micromachined gyroscopes is the detection of the weak Coriolis force, the noise level of which by conventional methods has reached its limit. In this paper, an in-plane gyroscope structure based on the tunneling magnetoresistance (TMR) effect is designed providing a means to detect this force in the MEMS vibratory gyroscope. TMR is used so that a high sensitivity is achieved. From a theoretical analysis of the designed gyroscope structure, the structural sensitivity of the detection Coriolis force is obtained. A permanent magnet was designed and simulated for the TMR device and a magnet sensitivity was obtained. To obtain the magnetoresistance sensitivity, an experiment was performed to test a TMR device. A TMR gyroscope system model is implemented in the SIMULINK environment using parameter values obtained from calculations and some obtained from the experimental tests of the total sensitivity. Combining our separate results, a total sensitivity for the TMR gyroscope of 1.18 mV/°/s was obtained along with a theoretical noise floor of 9.48 × 10−5 °/s/√Hz. Therefore, the designed TMR gyroscope provides high sensitivity while achieving a lower noise level.

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu diesem Inhalt zu erhalten

Sie möchten Zugang zu diesem Inhalt erhalten? Dann informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 69.000 Bücher
  • über 500 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 50.000 Bücher
  • über 380 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Maschinenbau + Werkstoffe




Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Literatur
Über diesen Artikel

Weitere Artikel der Ausgabe 4/2019

Microsystem Technologies 4/2019 Zur Ausgabe