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Design of SAW hydrogen detector based on graphene-palladium nanoparticles

  • 26.07.2020
  • Technical Paper
Erschienen in:

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Abstract

In dieser Hinsicht wird die mit Palladium-Nanopartikeln dekorierte Graphenschicht als Sensorschicht zwischen den Ein- und Ausgabeelektroden des SAW-Detektors betrachtet. Es wird gezeigt, dass die Graphenschicht, eine per se atomare dünne Schicht mit freien Schlingverbindungen, die Adsorption von Gasen und die Empfindlichkeit der Sensorplattform verbessern kann. Um sowohl die Empfindlichkeit als auch die Selektivität der Sensorschicht gegenüber Wasserstoffmolekülen weiter zu erhöhen, werden Palladium-Nanopartikel auf der Graphenschicht deponiert. Ein 3D-numerisches Modell des Wasserstoffdetektors, dessen Betriebsfrequenz 110 MHz beträgt, wird präsentiert. Wir untersuchen die Auswirkungen der Anzahl der Graphenschichten, der Palladium-Nanopartikel-Größe sowie deren Abstand auf der Zeitreaktion des SAW-Detektors. Wir zeigen numerisch, dass Palladium-Nanopartikel mit kleinerem Durchmesser, d.h. Gas, die vorgeschlagene Zeitverschiebung der Wasserstoffschichten um 1,6 W-Schichten mit der vorgeschlagenen Wasserstoffkonzentration um 1,6 W-Schichten präzise sein können.

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Titel
Design of SAW hydrogen detector based on graphene-palladium nanoparticles
Verfasst von
Ehsan Fallahnia
Seyedfakhreddin Nabavi
Publikationsdatum
26.07.2020
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 5/2021
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-020-04972-w
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