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01.08.2013 | Technical Paper | Ausgabe 8/2013

Microsystem Technologies 8/2013

Development and discussion of asymmetric magnetic soft mode electromagnetic imprinting process technology

Zeitschrift:
Microsystem Technologies > Ausgabe 8/2013
Autoren:
Yung-Chun Weng, Yung-Jin Weng, Sen-Yeu Yang

Abstract

This study proposed an innovative imprinting process technology for the compound casting of a steel shim and poly-dimethylsiloxane solution. The resulting solid magnetic sheet has angular asymmetric changes. Electromagnet-assisted imprinting technology and ultraviolet lamp light curing equipment were used to reproduce a micro-lens structure of different linear gradient molding heights from the original even micro-lens mold by imprinting. Hence, in a single imprinting process, using the same mold to reproduce micro structures of different heights, with controllable and predictable heights of linear gradient, this study developed a simple and low-cost innovative processing technology on the basis of electromagnetic imprinting and compound casting in order to provide an effective alternative for imprinting processes and applications in the broad sense. For result validation, this study used the pressure sensitive soft mode to discuss the distribution of the imprinting force of the asymmetric linear gradient sheet shim using scanning electron microscope, a surface profiler, and other instruments to observe, measure, and analyze the process results.

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