Skip to main content

2014 | OriginalPaper | Buchkapitel

9. Druck-, Kraft-, Drehmoment- und Inertialsensoren

verfasst von : Heinrich Paul, Josef Binder, Helmut Bäumel, Thomas Kleckers, Michael Horn, Fabian Höflinger

Erschienen in: Sensortechnik

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

Aktivieren Sie unsere intelligente Suche, um passende Fachinhalte oder Patente zu finden.

search-config
loading …

Zusammenfassung

Bis zum Anfang der sechziger Jahre war das gängige Messmittel zur industriellen Druckmessung ein mechanisches Manometer. Mit dem Siegeszug der Elektronik im Bereich der Mess-, Steuerungs- und Regelungstechnik trat eine zunehmende Nachfrage nach elektrischen Ausgangssignalen auf. Nach und nach wurden die rein mechanischen Kontaktmanometer durch verschiedene physikalische Prinzipien zur direkten Umwandlung der mechanischen Größe Druck in ein proportionales elektrisches Signal ersetzt. Der Oberbegriff für diese Geräte heißt „Druckaufnehmer“.

Sie haben noch keine Lizenz? Dann Informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 102.000 Bücher
  • über 537 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Nachhaltigkeit
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 67.000 Bücher
  • über 390 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Nachhaltigkeit
  • Maschinenbau + Werkstoffe




 

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Literatur
Zurück zum Zitat Aronowitz F (1993) Fundamentals of the ring laser gyro, RTO AGARDograph, Gyroscopes optiques et leurs applications Aronowitz F (1993) Fundamentals of the ring laser gyro, RTO AGARDograph, Gyroscopes optiques et leurs applications
Zurück zum Zitat Barret RM (1995) Very low frequency accelerometer measurements with piezoceramic sensors. SENSOR ‘95 Kongressband S 183–182 Barret RM (1995) Very low frequency accelerometer measurements with piezoceramic sensors. SENSOR ‘95 Kongressband S 183–182
Zurück zum Zitat Barten H (1991) Industrielle Wägetechnik. Die Bibliothek der Technik, Bd 54. Moderne industrie, Landsberg Barten H (1991) Industrielle Wägetechnik. Die Bibliothek der Technik, Bd 54. Moderne industrie, Landsberg
Zurück zum Zitat Baumann E (1976) Elektrische Kraftmeßtechnik. VEB-Verlag, Berlin Baumann E (1976) Elektrische Kraftmeßtechnik. VEB-Verlag, Berlin
Zurück zum Zitat Baumgarten D (1989) Bestimmung der elastischen Nachwirkung von metallischen und nichtmetallischen Federwerkstoffen im Kriechversuch. Dissertation im Fachbereich Maschinenbau und Elektrotechnik der TU-Braunschweig Baumgarten D (1989) Bestimmung der elastischen Nachwirkung von metallischen und nichtmetallischen Federwerkstoffen im Kriechversuch. Dissertation im Fachbereich Maschinenbau und Elektrotechnik der TU-Braunschweig
Zurück zum Zitat Berge G, Paul H (1988) Langzeitstabilität von von Sensoren und Aufnehmern mit metallischen Folien- und Dünnfilm-DMS. VDI Berichte Nr. 677 Berge G, Paul H (1988) Langzeitstabilität von von Sensoren und Aufnehmern mit metallischen Folien- und Dünnfilm-DMS. VDI Berichte Nr. 677
Zurück zum Zitat Bertodo R (1959) Development of high-temperature strain gauges. In: Proceedings of the institution of mechanical engineers, London, Bd 173 23, S 605–616 Bertodo R (1959) Development of high-temperature strain gauges. In: Proceedings of the institution of mechanical engineers, London, Bd 173 23, S 605–616
Zurück zum Zitat Binder J, Ehrler G, Heimer K, Krisch B, Poppinger M (1984) Silicon pressure sensors for the 2kPa to 40MPa range, Siemens Forsch- u Entwickl-Ber Bd 13, No. 6, S 294–302 Binder J, Ehrler G, Heimer K, Krisch B, Poppinger M (1984) Silicon pressure sensors for the 2kPa to 40MPa range, Siemens Forsch- u Entwickl-Ber Bd 13, No. 6, S 294–302
Zurück zum Zitat Bischoff W (1978) Gegenseitige Abhängigkeit der Spannungen und Dehnungen am elastischen Körper. Maschinenmarkt, Würzburg, 84 45, S 889–892 Bischoff W (1978) Gegenseitige Abhängigkeit der Spannungen und Dehnungen am elastischen Körper. Maschinenmarkt, Würzburg, 84 45, S 889–892
Zurück zum Zitat Bonfig UW, Bartz WJ, Wolff J (1988) Das Handbuch für Ingenieure: sensoren, Meßaufnehmer, Expert Verlag, darin Graeger V, Keramische Differenzdruckaufneh- mer, S 204–214 Bonfig UW, Bartz WJ, Wolff J (1988) Das Handbuch für Ingenieure: sensoren, Meßaufnehmer, Expert Verlag, darin Graeger V, Keramische Differenzdruckaufneh- mer, S 204–214
Zurück zum Zitat Bruin DW, Dunbar ML (1995) Smart sensors for acceleration measurements using a two chip approach. SENSOR ‘95 Kongressband S 202–212 Bruin DW, Dunbar ML (1995) Smart sensors for acceleration measurements using a two chip approach. SENSOR ‘95 Kongressband S 202–212
Zurück zum Zitat Büttgenbach S, Fabula Th; Schmidt B; Wagner H-J (1995) Resonant force and pressure microsensors. SENSOR ‘95 Kongressband S 22–32 Büttgenbach S, Fabula Th; Schmidt B; Wagner H-J (1995) Resonant force and pressure microsensors. SENSOR ‘95 Kongressband S 22–32
Zurück zum Zitat Chen PL et al (1982) Integrated silicon microbeam PI-FET accellerometer. IEEE Trans Electron Device Bd ED-29 1 Chen PL et al (1982) Integrated silicon microbeam PI-FET accellerometer. IEEE Trans Electron Device Bd ED-29 1
Zurück zum Zitat Clark SK, Wise KD (1979) Pressure sensitivity in anisotropically etched thin dia-phragm pressure sensors. IEEE Trans Electron Device 26:1887–1896CrossRef Clark SK, Wise KD (1979) Pressure sensitivity in anisotropically etched thin dia-phragm pressure sensors. IEEE Trans Electron Device 26:1887–1896CrossRef
Zurück zum Zitat Dadashi F, Crettenand F, Millet G, Seifert L, Komar J, Aminian K (2011) Front crawl propulsive phase detection using inertial sensors. Port J Sport Sci 855–858 Dadashi F, Crettenand F, Millet G, Seifert L, Komar J, Aminian K (2011) Front crawl propulsive phase detection using inertial sensors. Port J Sport Sci 855–858
Zurück zum Zitat Deppner HG (1999) Drehratenmessgeber. STN Atlas Elektronik, Bremen Deppner HG (1999) Drehratenmessgeber. STN Atlas Elektronik, Bremen
Zurück zum Zitat Deutsche Normen: Grundlagen der Meßtechnik. DIN 1319. Berlin, Köln: Beuth Deutsche Normen: Grundlagen der Meßtechnik. DIN 1319. Berlin, Köln: Beuth
Zurück zum Zitat Deutsche Normen: Werkstoffprüfmaschinen: Kraftmeßgeräte für statische Kräfte zur Prüfung von Werkstoffprüfmaschinen. DIN 5130. Berlin, Köln Beuth Deutsche Normen: Werkstoffprüfmaschinen: Kraftmeßgeräte für statische Kräfte zur Prüfung von Werkstoffprüfmaschinen. DIN 5130. Berlin, Köln Beuth
Zurück zum Zitat Deutsche Normen: Zugversuch: Prüfung der Kraftmeßeinrichtung von Zugprüfmaschinen. DIN EN 10002 T2. Berlin, Köln Beuth Deutsche Normen: Zugversuch: Prüfung der Kraftmeßeinrichtung von Zugprüfmaschinen. DIN EN 10002 T2. Berlin, Köln Beuth
Zurück zum Zitat DIN 1319-3:1996-05 (D) Grundlagen der Meßtechnik - Teil 3: Auswertung von Messungen einer einzelnen Meßgröße, Meßunsicherheit, Beuth DIN 1319-3:1996-05 (D) Grundlagen der Meßtechnik - Teil 3: Auswertung von Messungen einer einzelnen Meßgröße, Meßunsicherheit, Beuth
Zurück zum Zitat Dobler KH; Hachtel H-J, Schmidt G (1992) Drehmomentmessung mit Hilfe von Wirbelstromeffekten Integrierte Drehmomentmessung S 45/55 Sonderforschungsbereich 241 Technische Hochschule Darmstadt Dobler KH; Hachtel H-J, Schmidt G (1992) Drehmomentmessung mit Hilfe von Wirbelstromeffekten Integrierte Drehmomentmessung S 45/55 Sonderforschungsbereich 241 Technische Hochschule Darmstadt
Zurück zum Zitat Ehrler G (1994) Piezoresistive silizium-elementarsensoren. Lehrgang Mikrosensoren und Sensorsysteme, Nr. 18428/41. 444 Ehrler G (1994) Piezoresistive silizium-elementarsensoren. Lehrgang Mikrosensoren und Sensorsysteme, Nr. 18428/41. 444
Zurück zum Zitat Europäische Normen: IP-Schutzarten: EN 60527. Berlin, Köln: Beuth Europäische Normen: IP-Schutzarten: EN 60527. Berlin, Köln: Beuth
Zurück zum Zitat Europäische Normen: Zugversuch: Kalibrierung der Kraftmeßgeräte für die Prüfung von Prüfmaschinen mit einachsiger Beanspruchung. EN 10002 T3. Berlin, Köln Beuth Europäische Normen: Zugversuch: Kalibrierung der Kraftmeßgeräte für die Prüfung von Prüfmaschinen mit einachsiger Beanspruchung. EN 10002 T3. Berlin, Köln Beuth
Zurück zum Zitat Faulstroh H; Conrad H (1975) Drehmoment messen. Technische Rundschau Nr. 5 Faulstroh H; Conrad H (1975) Drehmoment messen. Technische Rundschau Nr. 5
Zurück zum Zitat Feynman RP (1968) The Feynman lectures on physics. Addison Wesley, Boston Feynman RP (1968) The Feynman lectures on physics. Addison Wesley, Boston
Zurück zum Zitat Fraden J (1993) Handbook of modern sensors. American Institute of Physics (AIP), New York Fraden J (1993) Handbook of modern sensors. American Institute of Physics (AIP), New York
Zurück zum Zitat Gassmann H, Theiß D, Baethke K (1993) New bending ring force transducer as transfer-standard. Tagungsband IMEKO 13th Conference on Force and Mass Measurement. Helsinki, S 48–54 Gassmann H, Theiß D, Baethke K (1993) New bending ring force transducer as transfer-standard. Tagungsband IMEKO 13th Conference on Force and Mass Measurement. Helsinki, S 48–54
Zurück zum Zitat Germer W, Kowalski G (1986) Drucksensoren mit integrierter Auswerteelektronik für einen Einsatz unter erschwerten Umweltbedingungen. Poster-Session zur 3. „Sensoren“, Bad Nauheim, 4 Germer W, Kowalski G (1986) Drucksensoren mit integrierter Auswerteelektronik für einen Einsatz unter erschwerten Umweltbedingungen. Poster-Session zur 3. „Sensoren“, Bad Nauheim, 4
Zurück zum Zitat Göpel W, Hesse J, Zemel JN (1989) Sensors. Weinheim, New York, Basel, Cambridge, Tokyo Göpel W, Hesse J, Zemel JN (1989) Sensors. Weinheim, New York, Basel, Cambridge, Tokyo
Zurück zum Zitat Grave HF (1965) Elektrische Messung nichtelektrischer Größen. Akademische Verlagsgesellschaft Frankfurt am, Main Grave HF (1965) Elektrische Messung nichtelektrischer Größen. Akademische Verlagsgesellschaft Frankfurt am, Main
Zurück zum Zitat Grzonka S, Grisetti G, Burgard W (2009) Towards a navigation system for autonomous indoor flying. In: Proceedings of the IEEE international conference on robotics and automation (ICRA), Kobe, Japan Grzonka S, Grisetti G, Burgard W (2009) Towards a navigation system for autonomous indoor flying. In: Proceedings of the IEEE international conference on robotics and automation (ICRA), Kobe, Japan
Zurück zum Zitat Haberland R (1998): Kapazitive Beschleunigungssensoren in Sandwich Technik. SENSOR ‘85 Bd 3, S 5.3.1–5.3.11 Haberland R (1998): Kapazitive Beschleunigungssensoren in Sandwich Technik. SENSOR ‘85 Bd 3, S 5.3.1–5.3.11
Zurück zum Zitat Hafen M, Handrich E, Gutmann W, Ryrko B, Spahlinger G, Vetter E (1993) Hochgenauer Beschleunigungsmesser B-290 in Mikrotechnologie. SENSOR ‘93 II S 229–286 Hafen M, Handrich E, Gutmann W, Ryrko B, Spahlinger G, Vetter E (1993) Hochgenauer Beschleunigungsmesser B-290 in Mikrotechnologie. SENSOR ‘93 II S 229–286
Zurück zum Zitat Haritsuka R, Duyn DS, Otaredian T, Vries PA (1991) A novel accelerometer based on a silicon thermophile. TRANSDUCERS ‘91 S 420–423 Haritsuka R, Duyn DS, Otaredian T, Vries PA (1991) A novel accelerometer based on a silicon thermophile. TRANSDUCERS ‘91 S 420–423
Zurück zum Zitat Henry JC (1993) Advances in piezoelectric polymer accelerometer components for production applications. SENSOR ‘93 Henry JC (1993) Advances in piezoelectric polymer accelerometer components for production applications. SENSOR ‘93
Zurück zum Zitat Hooke R (1678) De pontentia restitutiva. London Hooke R (1678) De pontentia restitutiva. London
Zurück zum Zitat International Recommendation: metrological regulation for load cells. OIML R60 International Recommendation: metrological regulation for load cells. OIML R60
Zurück zum Zitat Jones BE (1928) Instrument science and technologie Ch. 9. Pergamon, London Jones BE (1928) Instrument science and technologie Ch. 9. Pergamon, London
Zurück zum Zitat Kanda J (1982) Graphical representation of the piezoresistance coefficients in silicon. IEEE Trans Electron Device 29:64–70CrossRef Kanda J (1982) Graphical representation of the piezoresistance coefficients in silicon. IEEE Trans Electron Device 29:64–70CrossRef
Zurück zum Zitat Kochsiek M (1997) Handbuch des Wägens. Wiesbaden, Vieweg Kochsiek M (1997) Handbuch des Wägens. Wiesbaden, Vieweg
Zurück zum Zitat König HG (1992) Eigenschaften metallischer Körper für die Windkanalmeßtechnik.Darmstadt: Dissertation am Fachbereich Maschinenbau der TH-Darmstadt S 26/27 König HG (1992) Eigenschaften metallischer Körper für die Windkanalmeßtechnik.Darmstadt: Dissertation am Fachbereich Maschinenbau der TH-Darmstadt S 26/27
Zurück zum Zitat Kreuzer M (1993) Progress in elektronics revolutionises load cell and force transducers. Tagungsband IMEKO 13th conference on force and mass measurement. Helsinki, S 124/127 Kreuzer M (1993) Progress in elektronics revolutionises load cell and force transducers. Tagungsband IMEKO 13th conference on force and mass measurement. Helsinki, S 124/127
Zurück zum Zitat Kühl B Mikromechanik im Serieneinsatz. Design & Elektronik S 44–46 Kühl B Mikromechanik im Serieneinsatz. Design & Elektronik S 44–46
Zurück zum Zitat Martini KH (1988) Mehrkomponenten-Dynamometer mit Quarzkristall-Kraftmeßelementen. Technische Druck und Kraftmessung, S 148 ff. Esslingen: Expert Martini KH (1988) Mehrkomponenten-Dynamometer mit Quarzkristall-Kraftmeßelementen. Technische Druck und Kraftmessung, S 148 ff. Esslingen: Expert
Zurück zum Zitat Mokwa W, FhG IMS (1992) Duisburg, Praxis der Mikrosystemtechnik Seminar. S 23–25 Mokwa W, FhG IMS (1992) Duisburg, Praxis der Mikrosystemtechnik Seminar. S 23–25
Zurück zum Zitat National Type evaluation program: national conference on weights and measures. 14, US Department of Commerce National Type evaluation program: national conference on weights and measures. 14, US Department of Commerce
Zurück zum Zitat N.Na. Kapazitiver Miniatur-Beschleunigungsaufnehmer: Informationsblatt ACCESS SENSORS Les Charbonnieres N.Na. Kapazitiver Miniatur-Beschleunigungsaufnehmer: Informationsblatt ACCESS SENSORS Les Charbonnieres
Zurück zum Zitat N.Nb. Kapazitiver Miniatur-Beschleunigungsaufnehmer: Datenblatt ACCESS SENSORS Les Charbonnieres N.Nb. Kapazitiver Miniatur-Beschleunigungsaufnehmer: Datenblatt ACCESS SENSORS Les Charbonnieres
Zurück zum Zitat N.Nc. (1995) Mikrosystem zur Messung von Beschleunigungen; Informationsblatt Forschungszentrum Karlsruhe – Technik und Umwelt N.Nc. (1995) Mikrosystem zur Messung von Beschleunigungen; Informationsblatt Forschungszentrum Karlsruhe – Technik und Umwelt
Zurück zum Zitat N.Nd. Monolithic accelerometer with signal conditioniering ADXL50; Datenblätter ANALOG DEVICES N.Nd. Monolithic accelerometer with signal conditioniering ADXL50; Datenblätter ANALOG DEVICES
Zurück zum Zitat N.Ne. (1991) Rückführung von Prüfmitteln auf nationale Normale. Physikalisch Technische Bundesanstalt (PTB) DKD-4 N.Ne. (1991) Rückführung von Prüfmitteln auf nationale Normale. Physikalisch Technische Bundesanstalt (PTB) DKD-4
Zurück zum Zitat Ort W (1986) Bessere Druckaufnehmer durch neue Folien-DMS-Technologie. NTG-Fachbericht Nr. 93, Beiträge zur Poster Session Ort W (1986) Bessere Druckaufnehmer durch neue Folien-DMS-Technologie. NTG-Fachbericht Nr. 93, Beiträge zur Poster Session
Zurück zum Zitat Paetow J (1988) Die 6-Leiterschaltung für DMS-Aufnehmer. HBM-Sonderdruck aus: wägen und dosieren 1/1988 Paetow J (1988) Die 6-Leiterschaltung für DMS-Aufnehmer. HBM-Sonderdruck aus: wägen und dosieren 1/1988
Zurück zum Zitat Paetow J Parallelschaltung von Wägezellen. Darmstadt: Hottinger Baldwin Messtechnik Paetow J Parallelschaltung von Wägezellen. Darmstadt: Hottinger Baldwin Messtechnik
Zurück zum Zitat Pechstedt RD, Jackson DA (1993) Optical fibre accelerometers for geophysical applications. SENSOR ‘93 II S 263–220 Pechstedt RD, Jackson DA (1993) Optical fibre accelerometers for geophysical applications. SENSOR ‘93 II S 263–220
Zurück zum Zitat Peschel D (1993) Mechanical Parasitic Components and their influence on the calibration of torque transducers. Tagungsband IMEKO 13th conference on force and mass measurement. Helsinki, S 91/96 Peschel D (1993) Mechanical Parasitic Components and their influence on the calibration of torque transducers. Tagungsband IMEKO 13th conference on force and mass measurement. Helsinki, S 91/96
Zurück zum Zitat Peters M (1993) Influence on the uncertainty of force standard machines with hydraulic multiplikation. Tagungsband IMEKO 13th conference on force and mass measurement. Helsinki, S 11–19 Peters M (1993) Influence on the uncertainty of force standard machines with hydraulic multiplikation. Tagungsband IMEKO 13th conference on force and mass measurement. Helsinki, S 11–19
Zurück zum Zitat Petirsch M, Schwab A (1994) Konformität mit Europa. KEM 6 S 77/78 Petirsch M, Schwab A (1994) Konformität mit Europa. KEM 6 S 77/78
Zurück zum Zitat Pollak-Diener G (1989) Montagetechniken für Silizium-Sensoren. Technisches Messen 11:422–427 Literatur zu 8.2 393 Pollak-Diener G (1989) Montagetechniken für Silizium-Sensoren. Technisches Messen 11:422–427 Literatur zu 8.2 393
Zurück zum Zitat Profos P (1928) Handbuch der industriellen. Meßtechnik Vulkan Verlag, Essen Profos P (1928) Handbuch der industriellen. Meßtechnik Vulkan Verlag, Essen
Zurück zum Zitat Quaß M (1994) Aspekte der Drehmomentmeßtechnik. Maschinenmarkt, Würzburg 100 30, S 46/48 Quaß M (1994) Aspekte der Drehmomentmeßtechnik. Maschinenmarkt, Würzburg 100 30, S 46/48
Zurück zum Zitat Quenzer HJ, Benecke W, Dehl C (1992) Low temperature wafer bonding for micromechanical applications. Paper presented at the Micro Electro Mechanical Systems ′92, Travemünde (Germany), S 4–7 Quenzer HJ, Benecke W, Dehl C (1992) Low temperature wafer bonding for micromechanical applications. Paper presented at the Micro Electro Mechanical Systems ′92, Travemünde (Germany), S 4–7
Zurück zum Zitat Reichl H (1989) Halbleitersensore. Expert Verlag darin: Binder J, Piezoresistive Silizium-Druck- sensoren, S 147–220 Reichl H (1989) Halbleitersensore. Expert Verlag darin: Binder J, Piezoresistive Silizium-Druck- sensoren, S 147–220
Zurück zum Zitat Reif K (2012) Sensoren im Kraftfahrzeug, Bosch Fachinformation Automobil. Vieweg+Teubner Verlag, Springer Fachmedien WiesbadenCrossRef Reif K (2012) Sensoren im Kraftfahrzeug, Bosch Fachinformation Automobil. Vieweg+Teubner Verlag, Springer Fachmedien WiesbadenCrossRef
Zurück zum Zitat Robinson G, Knott A (1993) Adjustment of masses for the NPL 1.2MN deathweight force standard machine. Tagungsband IMEKO 13th Conference on Force and Mass Measurement. Helsinki, S 87–90 Robinson G, Knott A (1993) Adjustment of masses for the NPL 1.2MN deathweight force standard machine. Tagungsband IMEKO 13th Conference on Force and Mass Measurement. Helsinki, S 87–90
Zurück zum Zitat Sagnac G (1913) L’′ether lumineux d′emontr′e par l’′effet du vent relatif d’′ether dans un interf′erom`etre en rotation uniforme. Comptes rendus de l’Acad′emie des Sciences 95:708–710 Sagnac G (1913) L’′ether lumineux d′emontr′e par l’′effet du vent relatif d’′ether dans un interf′erom`etre en rotation uniforme. Comptes rendus de l’Acad′emie des Sciences 95:708–710
Zurück zum Zitat Satchell DW, Greenwood JC (1989) Sens Actuators 17:241–245 Satchell DW, Greenwood JC (1989) Sens Actuators 17:241–245
Zurück zum Zitat Sawla A, Baethke K (1993) Investigation of measurement uncertainty achievable with strain-controlled joints realized in a new lever-type 100kN force calibration machine. Tagungsband IMEKO 13th conference on force and mass measurement. Helsinki, S 36–41 Sawla A, Baethke K (1993) Investigation of measurement uncertainty achievable with strain-controlled joints realized in a new lever-type 100kN force calibration machine. Tagungsband IMEKO 13th conference on force and mass measurement. Helsinki, S 36–41
Zurück zum Zitat Sawla A, Peters M (1993) WECC Inter-laboratory comparison F2 force transducer calibration. PTB-Bericht, Braunschweig Sawla A, Peters M (1993) WECC Inter-laboratory comparison F2 force transducer calibration. PTB-Bericht, Braunschweig
Zurück zum Zitat Scheuerle A (2010) Monolithisch integrierter Drehratensensor mit zeitkontinuierlicher Auswerteschaltung. Dissertation, Eberhard Karls Universität Tübingen Scheuerle A (2010) Monolithisch integrierter Drehratensensor mit zeitkontinuierlicher Auswerteschaltung. Dissertation, Eberhard Karls Universität Tübingen
Zurück zum Zitat Schoth A (1994) A servo mikroaccelerometer, with a differential-tunneling-probe as position-sensor. MICRO SYSTEM Technologies ’94 S 233–242 Schoth A (1994) A servo mikroaccelerometer, with a differential-tunneling-probe as position-sensor. MICRO SYSTEM Technologies ’94 S 233–242
Zurück zum Zitat Schubert D (1995) Beschleunigungssensoren in Silizium-Techniken. Technisches Messen 62 11 S 424–431 Schubert D (1995) Beschleunigungssensoren in Silizium-Techniken. Technisches Messen 62 11 S 424–431
Zurück zum Zitat Schultze HJ, Werner T (1995) Mikrosystemtechnik im KfZ am Beispiel des Unfalldatenspeichers. mikro+elektronik 4/ S 38–40 Schultze HJ, Werner T (1995) Mikrosystemtechnik im KfZ am Beispiel des Unfalldatenspeichers. mikro+elektronik 4/ S 38–40
Zurück zum Zitat Strohrmann M, Fromhein O, Keller W, Lindemann K, Mohr J (1993) LIGA-Sensoren und intelligente Sensorsysteme zur Messung von Beschleunigungen 1. Statuskolloquium Projekt Mikrosystemtechnik Karlsruhe Strohrmann M, Fromhein O, Keller W, Lindemann K, Mohr J (1993) LIGA-Sensoren und intelligente Sensorsysteme zur Messung von Beschleunigungen 1. Statuskolloquium Projekt Mikrosystemtechnik Karlsruhe
Zurück zum Zitat Szabo I (1975) Einführung in die technische Mechanik. Springer, Berlin S 149/150CrossRef Szabo I (1975) Einführung in die technische Mechanik. Springer, Berlin S 149/150CrossRef
Zurück zum Zitat Thomson W (1856) On the electro-dynamic qualities of metals. Philo Trans Royal Society, London Thomson W (1856) On the electro-dynamic qualities of metals. Philo Trans Royal Society, London
Zurück zum Zitat Tichy J, Gautschi G (1980) Piezoelektrische Meßtechnik. Springer, New YorkCrossRef Tichy J, Gautschi G (1980) Piezoelektrische Meßtechnik. Springer, New YorkCrossRef
Zurück zum Zitat Titterton DH, Weston JL (2004) Strapdown inertial navigation technology, 2nd Aufl. The Institution of Electrical Engineers radar, sonar & navigation series 17, HertsCrossRef Titterton DH, Weston JL (2004) Strapdown inertial navigation technology, 2nd Aufl. The Institution of Electrical Engineers radar, sonar & navigation series 17, HertsCrossRef
Zurück zum Zitat Toledo M Inc Hysteresis-compensated weighing apparatus and method. Euro Patent Appl 0457 134 A2 Toledo M Inc Hysteresis-compensated weighing apparatus and method. Euro Patent Appl 0457 134 A2
Zurück zum Zitat Tränkler H-R (1996) Taschenbuch der Meßtechnik, 4. Aufl Oldenbourg Verlag, München Wien Tränkler H-R (1996) Taschenbuch der Meßtechnik, 4. Aufl Oldenbourg Verlag, München Wien
Zurück zum Zitat Unbekannt: Datenblatt Serie TG. Vibro-Meter GmbH, Frankfurt Unbekannt: Datenblatt Serie TG. Vibro-Meter GmbH, Frankfurt
Zurück zum Zitat Unbekannt: Forschen, Entwickeln, Überwachen durch Kraftmessung die bessere Lösung. Firmenschrift Kistler Instrumente AG, Winterthur, Schweiz Unbekannt: Forschen, Entwickeln, Überwachen durch Kraftmessung die bessere Lösung. Firmenschrift Kistler Instrumente AG, Winterthur, Schweiz
Zurück zum Zitat Vaisala (1988) Kundeninformationsschrift über BAROCAP Kapazitive Drucksensoren Vaisala (1988) Kundeninformationsschrift über BAROCAP Kapazitive Drucksensoren
Zurück zum Zitat Verein Deutscher Ingenieure: Kenngrößen für Kraftaufnehmer. VDI/VDE 2638. Berlin, Köln Beuth Verein Deutscher Ingenieure: Kenngrößen für Kraftaufnehmer. VDI/VDE 2638. Berlin, Köln Beuth
Zurück zum Zitat Verein Deutscher Ingenieure: Kenngrößen für Wägezellen. VDI/VDE 2637. Berlin, Köln Beuth Verein Deutscher Ingenieure: Kenngrößen für Wägezellen. VDI/VDE 2637. Berlin, Köln Beuth
Zurück zum Zitat Volle E, Wöhrstein H-G (1973) Die Dynamik hochabgestimmter Mehrkomponenten-Kraftaufnehmer am Beispiel von Quarzkristall-Meßwertaufnehmern. messtechnik 12/73, S 394–400 Volle E, Wöhrstein H-G (1973) Die Dynamik hochabgestimmter Mehrkomponenten-Kraftaufnehmer am Beispiel von Quarzkristall-Meßwertaufnehmern. messtechnik 12/73, S 394–400
Zurück zum Zitat Ward MCL, King DO, Hodge AM (1995) Performance limitations of surface- machined accelerometers fabricated in polysilicon gate material. Sensor Actuat A 46–42:205–209CrossRef Ward MCL, King DO, Hodge AM (1995) Performance limitations of surface- machined accelerometers fabricated in polysilicon gate material. Sensor Actuat A 46–42:205–209CrossRef
Zurück zum Zitat Wendel J (2007) Integrierte navigationssysteme: sensordaten, GPS und inertiale navigation. Oldenbourg Wendel J (2007) Integrierte navigationssysteme: sensordaten, GPS und inertiale navigation. Oldenbourg
Zurück zum Zitat Westbrook MH, Turner JD (1996) Automotive sensors. Institute of Physics Publishing, Philadelphia Westbrook MH, Turner JD (1996) Automotive sensors. Institute of Physics Publishing, Philadelphia
Zurück zum Zitat Winterthur CH (2013) Datenblätter der Fa. Kistler Instrumente AG Winterthur CH (2013) Datenblätter der Fa. Kistler Instrumente AG
Zurück zum Zitat Yole Dévelopement (2011) Motion sensors for consumer & mobile applications. Internet, Februar 22, 2011 Yole Dévelopement (2011) Motion sensors for consumer & mobile applications. Internet, Februar 22, 2011
Metadaten
Titel
Druck-, Kraft-, Drehmoment- und Inertialsensoren
verfasst von
Heinrich Paul
Josef Binder
Helmut Bäumel
Thomas Kleckers
Michael Horn
Fabian Höflinger
Copyright-Jahr
2014
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-642-29942-1_9

Neuer Inhalt