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Erschienen in: Journal of Systems Science and Systems Engineering 3/2023

01.05.2023

DTFab: A Digital Twin based Approach for Optimal Reticle Management in Semiconductor Photolithography

verfasst von: Chandrasekhar Komaralingam Sivasubramanian, Robert Dodge, Aditya Ramani, David Bayba, Mani Janakiram, Eric Butcher, Joseph Gonzales, Giulia Pedrielli

Erschienen in: Journal of Systems Science and Systems Engineering | Ausgabe 3/2023

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Metadaten
Titel
DTFab: A Digital Twin based Approach for Optimal Reticle Management in Semiconductor Photolithography
verfasst von
Chandrasekhar Komaralingam Sivasubramanian
Robert Dodge
Aditya Ramani
David Bayba
Mani Janakiram
Eric Butcher
Joseph Gonzales
Giulia Pedrielli
Publikationsdatum
01.05.2023
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Erschienen in
Journal of Systems Science and Systems Engineering / Ausgabe 3/2023
Print ISSN: 1004-3756
Elektronische ISSN: 1861-9576
DOI
https://doi.org/10.1007/s11518-023-5564-x

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