1995 | OriginalPaper | Buchkapitel
Dünnschichttechnologie
verfasst von : Klaus-Peter Müller
Erschienen in: Praktische Oberflächentechnik
Verlag: Vieweg+Teubner Verlag
Enthalten in: Professional Book Archive
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Das Abscheiden dünner Schichten mit besonderen Eigenschaften kann auf zwei prinzipiell unterschiedlichen Wegen erfolgen, wobei die Grenzen zwischen beiden Verfahren fließend sind. Ein Weg zu dünnen Schichten besteht darin, daß man die chemische Schichtbildungsreaktion lokalisiert auf der Oberfläche des Werkstücks ablaufen läßt. Man nennt Verfahren dieser Art CVD-Verfahren (Chemical Vapour Deposition).