Skip to main content
Fachgebiete
Automobil + Motoren Bauwesen + Immobilien Business IT + Informatik Elektrotechnik + Elektronik Energie + Nachhaltigkeit Finance + Banking Management + Führung Marketing + Vertrieb Maschinenbau + Werkstoffe Versicherung + Risiko
DE
EN
Bücher
Zeitschriften
Themenseiten
Organisationspsychologie Projektmanagement Marketing Smart Manufacturing
Weitere Formate
Podcasts Webinare Technik Webinare Wirtschaft Kongresse Veranstaltungskalender Awards
Jetzt Einzelzugang starten
Zugang für Unternehmen
Referenzkunden
SLX-Digitalkonferenz: Zukunftswerkstatt 2024

Mehr Umsatz mit Top-Kontakten

Am 7. Mai erfahren Sie, wie Vertriebsteams Leadgenerierung, Leadnurturing und Leadstrategien effizient steuern können.
Erweiterte Suche
Anmelden
nach oben
Erschienen in:
Design of a Simulation System for Cross-Eye Dynamic Jamming Kapitel lesen Erstes Kapitel lesen

2018 | OriginalPaper | Buchkapitel

Dynamic Decision Based Noncyclic Scheduling of Multi-cluster Tools

verfasst von : Yuanyuan Yan, Huangang Wang, Wenhui Fan

Erschienen in: Proceedings of 2017 Chinese Intelligent Automation Conference

Verlag: Springer Singapore

Einloggen

Aktivieren Sie unsere intelligente Suche, um passende Fachinhalte oder Patente zu finden.

search-config
loading …

Abstract

Multi-cluster tools are widely used in semiconductor manufacturing. Recently, semiconductor manufacturing industry shows to reduce the wafer lot size, down to just a few, even being only 5–8 wafers. In such cases, it is impossible to apply a cyclic scheduling method since there is no cyclic action sequence. Therefore, this paper mainly focuses on the application of noncyclic scheduling with a unified description for different problems which contains serial flow, parallel flow and re-entrant flow. Moreover, a reachability graph model is developed based on the unified description, and then a dynamic decision method is used to search the optimal solution in the reachability graph. A series of experiments are conducted, and it shows that the proposed method is effective for noncyclic scheduling of multi-cluster tools.

Sie haben noch keine Lizenz? Dann Informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 102.000 Bücher
  • über 537 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Nachhaltigkeit
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Jetzt informieren

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 67.000 Bücher
  • über 390 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Nachhaltigkeit
  • Maschinenbau + Werkstoffe




 

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Jetzt informieren

Springer Professional "Wirtschaft"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 67.000 Bücher
  • über 340 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Versicherung + Risiko




Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Jetzt informieren
Vorheriges Kapitel Dynamics Control and Simulation of Two DOF Robot
Nächstes Kapitel Pattern Recognition of Artificial Legs Based on WPT and LVQ
Literatur
1.
Chan WKV, Yi J, Ding S (2011) Optimal scheduling of multicluster tools with constant robot moving times, part i: two-cluster analysis. IEEE Transa Autom Sci Eng 8(1):5–16
2.
Chan WKV, Yi J, and Ding S (2011) Optimal scheduling of multicluster tools with constant robot moving times, part ii: tree-like topology configurations. IEEE Trans Autom Sci Eng 8(1):17–28
3.
Zhu Q, Wu N, Qiao Y, Zhou M (2013) Petri net-based optimal one-wafer scheduling of single-arm multi-cluster tools in semiconductor manufacturing. IEEE Trans Semicond Manuf 26(4):578–591, Nov 2013
4.
Zhu Q, Wu N, Qiao Y, Zhou M (2014) Modeling and schedulability analysis of single-arm multi-cluster tools with residency time constraints via Petri nets. In: Proceedings of the IEEE international conference on automation science and engineering, Taipei, Taiwan, Aug 2014, pp 81–86
5.
Zhu Q, Wu N, Qiao Y, Zhou M (2015) Scheduling of single-arm multicluster tools with wafer residency time constraints in semiconductor manufacturing. IEEE Trans Semicond Manuf 28(1):117–125, Feb 2015
6.
Zhu Q, Wu N, Qiao Y, Zhou M (2016) Optimal scheduling of complex multi-cluster tools based on timed resource-oriented petri nets. IEEE Access 4:2096–2109
7.
Yi JG, Ding SW, Song DZ et al. (2008) Steady-state throughput and scheduling analysis of multi-aluster tools for semiconductor manufacturing: a decomposition approach. IEEE Trans Semicond Manuf 5(2):321–336
8.
Kim HJ, Lee JH, Lee TE (2015) Time-feasible reachability tree for noncyclic scheduling of timed petri nets. IEEE Trans Autom Sci Eng 12(3):1007–1016
9.
Kim HJ, Lee JH, Lee TE (2015) Noncyclic scheduling of cluster tools with a branch and bound algorithm. IEEE Trans Autom Sci Eng 12(2):690–700
10.
Kim HJ, Lee JH, Jung C, Lee TE (2013) Scheduling cluster tools with ready time constraints for consecutive small lots. IEEE Trans Autom Sci Eng 10(1):145–159
11.
Wikborg U, Lee TE (2013) Noncyclic scheduling for timed discrete-event systems with application to single-armed cluster tools using pareto-optimal optimization. IEEE Trans Autom Sci Eng 10(3):699–709
12.
Nishi T, Matsumoto I (2015) Petri net decomposition approach to deadlock-free and non-cyclic scheduling of dual-armed cluster tools. IEEE Trans Autom Sci Eng 12(1):281–293
Metadaten
Titel
Dynamic Decision Based Noncyclic Scheduling of Multi-cluster Tools
verfasst von
Yuanyuan Yan
Huangang Wang
Wenhui Fan
Copyright-Jahr
2018
Verlag
Springer Singapore
Buch
Proceedings of 2017 Chinese Intelligent Automation Conference

Print ISBN: 978-981-10-6444-9

Electronic ISBN: 978-981-10-6445-6

Copyright-Jahr: 2018

DOI
https://doi.org/10.1007/978-981-10-6445-6_27

Neuer Inhalt

    Bildnachweise