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2017 | OriginalPaper | Buchkapitel

EBI - Electron Beam Inspection

verfasst von : Jürgen Bauch, Rüdiger Rosenkranz

Erschienen in: Physikalische Werkstoffdiagnostik

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

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Ein EBI-Gerät kommt in der Halbleiterfertigung zum Einsatz. Es ist ein modifiziertes Inline-Rasterelektronenmikroskop. Zur Lokalisierung von Defekten macht man sich das Prinzip des Potenzialkontrastes zunutze. Dabei werden solche Defekte detektiert, die elektrische Fehlfunktionen unterschiedlicher Art aufweisen.

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Metadaten
Titel
EBI - Electron Beam Inspection
verfasst von
Jürgen Bauch
Rüdiger Rosenkranz
Copyright-Jahr
2017
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Buch
Physikalische Werkstoffdiagnostik

Print ISBN: 978-3-662-53951-4

Electronic ISBN: 978-3-662-53952-1

Copyright-Jahr: 2017

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-662-53952-1_19

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