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2017 | OriginalPaper | Buchkapitel

EBIC - Electron Beam Induced Current, EBAC - Electron Beam Absorbed Current

verfasst von : Jürgen Bauch, Rüdiger Rosenkranz

Erschienen in: Physikalische Werkstoffdiagnostik

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

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Für beide Verfahren ist zwingend ein Rasterelektronenmikroskop notwendig. Beim EBIC erzeugen die in die Probe eindringenden Primärelektronen Elektronen-Loch-Paare, wenn sie auf einen Halbleiter treffen. Beim EBAC entsteht ein Stromfluss durch die vom Primärstrahl stammenden Elektronen, vermindert um die Rückstreu- und Sekundärelektronenemission. Die erzeugten Ströme werden einem hochempfindlichen Verstärker zugeführt und anschließend als Bildsignal in die Videoeinheit des REMs eingespeist. Damit lassen sich elektrische Fehler auf dem Chip lokalisieren.

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Metadaten
Titel
EBIC - Electron Beam Induced Current, EBAC - Electron Beam Absorbed Current
verfasst von
Jürgen Bauch
Rüdiger Rosenkranz
Copyright-Jahr
2017
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Buch
Physikalische Werkstoffdiagnostik

Print ISBN: 978-3-662-53951-4

Electronic ISBN: 978-3-662-53952-1

Copyright-Jahr: 2017

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-662-53952-1_17

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