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Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics 14/2019

18.06.2019

Effect of deposition temperature of a-Si:H layer on the performance of silicon heterojunction solar cell

verfasst von: Tianyu Ruan, Minghao Qu, Jianqiang Wang, Yongcai He, Xixiang Xu, Cao Yu, Yongzhe Zhang, Hui Yan

Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics | Ausgabe 14/2019

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Abstract

Substrate temperature during intrinsic hydrogenated amorphous silicon (i-a-Si:H) passivation layer deposition by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) is found to be crucial for reaching high conversion efficiency (Eff) in a silicon heterojunction (SHJ) solar cell. Measurements from Fourier transform infrared (FTIR) and minority carrier lifetimes show that the good passivation properties of a-Si:H film deposited at lower substrate temperatures are achieved. The correlations between the optical and electrical properties of thin films and the performance of SHJ cells have been analyzed. Finally, a SHJ solar cell with an area of 242.5 cm2 was prepared at 210 °C, yielding a maximum cell conversion efficiency up to 23.3% with VOC of 741 mV, JSC of 38.49 mA/cm2 and FF of 82.0%.

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Literatur
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Metadaten
Titel
Effect of deposition temperature of a-Si:H layer on the performance of silicon heterojunction solar cell
verfasst von
Tianyu Ruan
Minghao Qu
Jianqiang Wang
Yongcai He
Xixiang Xu
Cao Yu
Yongzhe Zhang
Hui Yan
Publikationsdatum
18.06.2019
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Materials Science: Materials in Electronics / Ausgabe 14/2019
Print ISSN: 0957-4522
Elektronische ISSN: 1573-482X
DOI
https://doi.org/10.1007/s10854-019-01700-7

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