Skip to main content
main-content

Tipp

Weitere Artikel dieser Ausgabe durch Wischen aufrufen

29.03.2016 | Technical Paper | Ausgabe 6/2017

Microsystem Technologies 6/2017

Effect of Ge interface control layer on the interfacial and electrical properties of TaYOx thin films on GaAs substrates

Zeitschrift:
Microsystem Technologies > Ausgabe 6/2017
Autoren:
P. S. Das, A. Biswas

Abstract

Effects of a Ge interface control layer on the electrical properties of RF sputter-deposited TaYOx on n-GaAs substrates are studied in detail. It is found that the incorporation of an ultrathin Ge layer in between TaYOx and GaAs substrate improve various electrical parameters such as interface state density, border trap density, frequency dispersion, leakage current density and flat-band shift thereby improving capacitor performance. The trapping of charge carriers in GaAs MOS capacitors during constant voltage stress has also been studied and the increase in gate leakage current observed during electrical stress is estimated and explained by taking into account the build up of trap charges and stress induced trap generation. The cross-section of traps is also estimated to be in the range of 10−18 cm2. Such a small value for the capture cross-section implies that the generated traps are neutral centers which are probably responsible for trap-assisted tunneling during voltage stressing.

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu diesem Inhalt zu erhalten

Sie möchten Zugang zu diesem Inhalt erhalten? Dann informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit dem Kombi-Abo erhalten Sie vollen Zugriff auf über 1,8 Mio. Dokumente aus mehr als 61.000 Fachbüchern und rund 500 Fachzeitschriften aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit dem Technik-Abo erhalten Sie Zugriff auf über 1 Mio. Dokumente aus mehr als 40.000 Fachbüchern und 300 Fachzeitschriften aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Maschinenbau + Werkstoffe

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Literatur
Über diesen Artikel

Weitere Artikel der Ausgabe 6/2017

Microsystem Technologies 6/2017Zur Ausgabe

BranchenIndex Online

Die B2B-Firmensuche für Industrie und Wirtschaft: Kostenfrei in Firmenprofilen nach Lieferanten, Herstellern, Dienstleistern und Händlern recherchieren.

Whitepaper

- ANZEIGE -

INDUSTRIE 4.0

Der Hype um Industrie 4.0 hat sich gelegt – nun geht es an die Umsetzung. Das Whitepaper von Protolabs zeigt Unternehmen und Führungskräften, wie sie die 4. Industrielle Revolution erfolgreich meistern. Es liegt an den Herstellern, die besten Möglichkeiten und effizientesten Prozesse bereitzustellen, die Unternehmen für die Herstellung von Produkten nutzen können. Lesen Sie mehr zu: Verbesserten Strukturen von Herstellern und Fabriken | Konvergenz zwischen Soft- und Hardwareautomatisierung | Auswirkungen auf die Neuaufstellung von Unternehmen | verkürzten Produkteinführungszeiten
Jetzt gratis downloaden!

Bildnachweise