Skip to main content
main-content

Tipp

Weitere Artikel dieser Ausgabe durch Wischen aufrufen

01.04.2016 | Ausgabe 7/2016

Journal of Materials Science: Materials in Electronics 7/2016

Effects of substrate on the domains and electrical properties of epitaxial graphene formed on on-axis C-face 4H-SiC

Zeitschrift:
Journal of Materials Science: Materials in Electronics > Ausgabe 7/2016
Autoren:
Yanfei Hu, Yuming Zhang, Hui Guo, LaiYuan Chong, Chenxu Zhang, Yimen Zhang

Abstract

The effect of substrate surface preparation on the quality of epitaxial graphene grown on on-axis C-face 4H-SiC has been investigated. Structural epitaxial graphene has been achieved using a graphite enclosure. The homogeneity and domain size of epitaxial graphene on different pretreated substrates were studied using Raman spectroscopy, field emission scanning electron microscopy and hall measurements. The etching of C-face SiC substrate using C3H8/H2 is shown to have a pronounced effect on the domain size and hall mobility of multilayer epitaxial graphene. From Raman measurements, it is found that the pretreatment of substrate has a great influence on the domain size of epitaxial graphene. From hall results, it is found that the effect of substrate pretreatment on carrier mobility follows the same tendency reflected in the results of Raman spectra. It is concluded that the pretreatment of substrate surface, mainly the etching for generating high density, regular and periodic step structure with flatter terrace, would allow the growth of graphene with significantly large area and high mobility, even on large on-axis C-face 4H-SiC wafer.

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu diesem Inhalt zu erhalten

Sie möchten Zugang zu diesem Inhalt erhalten? Dann informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 69.000 Bücher
  • über 500 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 50.000 Bücher
  • über 380 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Maschinenbau + Werkstoffe




Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Wirtschaft"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 58.000 Bücher
  • über 300 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Versicherung + Risiko




Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Literatur
Über diesen Artikel

Weitere Artikel der Ausgabe 7/2016

Journal of Materials Science: Materials in Electronics 7/2016 Zur Ausgabe