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Journal of Materials Science: Materials in Electronics
Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics 9/2015

01.09.2015

Effects of tin content on structure, properties, electrical repeatability, uniformity and stability of high sheet resistance ITO thin films for touch panels

verfasst von: Xianjie Zhou, Jiwen Xu, Ling Yang, Guisheng Zhu, Zhiming Yu

Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics | Ausgabe 9/2015

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Abstract

The Sn-doped In2O3 (ITO) thin films with high sheet resistance for touch panels application were deposited by magnetron sputtering process. The effects of tin content on the structure, optical properties, sheet resistance, electrical repeatability, uniformity and stability of ITO thin films were deeply investigated. The ultrathin ITO thin films showed polycrystalline structure with the (222) preferred orientation and smooth surface with low surface roughness. Furthermore, the ultrathin ITO thin films demonstrated strong visible transmittance of above 85 % and had no interference ripples. The ultrathin ITO thin films with ingredient ratio of 95/05 showed stable high sheet resistance, excellent repeatability and uniformity, and could resist the influence from external environment.
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Metadaten
Titel
Effects of tin content on structure, properties, electrical repeatability, uniformity and stability of high sheet resistance ITO thin films for touch panels
verfasst von
Xianjie Zhou
Jiwen Xu
Ling Yang
Guisheng Zhu
Zhiming Yu
Publikationsdatum
01.09.2015
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Materials Science: Materials in Electronics / Ausgabe 9/2015
Print ISSN: 0957-4522
Elektronische ISSN: 1573-482X
DOI
https://doi.org/10.1007/s10854-015-3314-7

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