Einleitung

Die Optimierung von Problemen der Ablaufplanung (engl. Scheduling) in der Halbleiter- und Elektronikproduktion gewinnt zunehmend an Bedeutung. Die Gründe hierfür liegen in den steigenden Anforderungen neuer Technologien an die Fertigung, resultierend aus der Erhöhung der Funktionsdichte auf dem Chip bzw. dem Package1, der zunehmenden Produktvielfalt und -flexibilität sowie dem stetig wachsenden Kostendruck auf die Produktion. Dieser Handlungszwang führt Halbleiter- und Elektronikhersteller vermehrt dazu, den Einsatz von Methoden für eine optimierte, echtzeitfähige Ablaufplanung zu prüfen, die noch vor einigen Jahren aufgrund der begrenzten Leistungsfähigkeit verfügbarer Computer undenkbar waren. Das Ziel einer solchen Ablaufplanung ist es, ideale Steuerungsentscheidungen für die laufende Fertigung abzuleiten. Gegenwärtig werden sowohl simulationsbasierte Verfahren als auch Ansätze der mathematischen Optimierung für die Erzeugung von optimierten Ablaufplänen untersucht. Diese Verfahren sind in der Lage, komplexen Problemstellungen mit einer Vielzahl von Lösungsvarianten zu begegnen, bei einer definierten Ausrichtung auf eine Zielfunktion und unter sich ändernden Nebenbedingungen.