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01.02.2013 | Technical Paper | Ausgabe 2/2013

Microsystem Technologies 2/2013

Electromagnetically force balanced polymer accelerometer

Zeitschrift:
Microsystem Technologies > Ausgabe 2/2013
Autoren:
Ji Li, Werner K. Schomburg

Abstract

An acceleration sensor from polymer has been developed which balances a proof mass by magnetic forces. The sensor is fabricated from a polyimide membrane with conductor paths from gold patterned by photolithography and etching, a frame manufactured by ultrasonic hot embossing, and permanent magnets fixed to the frame. Except the conductor path and permanent magnets, all components are made of polymers on a planar substrate, and then the frame is kinked forming the desired three-dimensional structure. In a first try, a sensitivity of 0.46 V/(m/s²) was achieved, and cross axis sensitivity error was less than 3 %.

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