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2019 | OriginalPaper | Buchkapitel

Electrostatic MEMS Switch with Vertical Beams and Body Biasing

verfasst von : Armin Bahmanyaran, Kian Jafari

Erschienen in: Fundamental Research in Electrical Engineering

Verlag: Springer Singapore

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Abstract

One of the easiest and the most appropriate solution for fabricating MEMS switch is Electrostatic actuation. However, it requires large parallel plates which can take a large surface on the substrate wafer and thus an expensive fabrication cost. In this paper, an improved electrostatic MEMS switch is presented. The proposed design is carried out so that it minimizes the dimensions of the MEMS device. Simulation results are also done by COMSOL based on the proposed design.

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Metadaten
Titel
Electrostatic MEMS Switch with Vertical Beams and Body Biasing
verfasst von
Armin Bahmanyaran
Kian Jafari
Copyright-Jahr
2019
Verlag
Springer Singapore
Buch
Fundamental Research in Electrical Engineering

Print ISBN: 978-981-10-8671-7

Electronic ISBN: 978-981-10-8672-4

Copyright-Jahr: 2019

DOI
https://doi.org/10.1007/978-981-10-8672-4_78

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