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Journal of Mechanical Science and Technology

Published in:

01-08-2014

An experimental study on semiconductor process chiller using the digital scroll compressor

Authors: Dong An Cha, Oh Kyung Kwon, Myung Do Oh

Published in: Journal of Mechanical Science and Technology | Issue 8/2014

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Title: An experimental study on semiconductor process chiller using the digital scroll compressor
Authors: Dong An Cha
Oh Kyung Kwon
Myung Do Oh
Publication date: 01-08-2014
Publisher: Korean Society of Mechanical Engineers
Published in: Journal of Mechanical Science and Technology / Issue 8/2014
Print ISSN: 1738-494X
Electronic ISSN: 1976-3824
DOI: https://doi.org/10.1007/s12206-014-0745-7

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