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Published in:

05-01-2021 | Research Article

Discretely-supported nanoimprint lithography for patterning the high-spatial-frequency stepped surface

Authors: Chunhui Wang, Yu Fan, Jinyou Shao, Zhengjie Yang, Jiaxing Sun, Hongmiao Tian, Xiangming Li

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Title: Discretely-supported nanoimprint lithography for patterning the high-spatial-frequency stepped surface
Authors: Chunhui Wang
Yu Fan
Jinyou Shao
Zhengjie Yang
Jiaxing Sun
Hongmiao Tian
Xiangming Li
Publication date: 05-01-2021
Publisher: Tsinghua University Press
Published in: Nano Research / Issue 8/2021
Print ISSN: 1998-0124
Electronic ISSN: 1998-0000
DOI: https://doi.org/10.1007/s12274-020-3261-3

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