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Published in: Journal of Systems Science and Systems Engineering 3/2023

01-05-2023

DTFab: A Digital Twin based Approach for Optimal Reticle Management in Semiconductor Photolithography

Authors: Chandrasekhar Komaralingam Sivasubramanian, Robert Dodge, Aditya Ramani, David Bayba, Mani Janakiram, Eric Butcher, Joseph Gonzales, Giulia Pedrielli

Published in: Journal of Systems Science and Systems Engineering | Issue 3/2023

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Metadata
Title
DTFab: A Digital Twin based Approach for Optimal Reticle Management in Semiconductor Photolithography
Authors
Chandrasekhar Komaralingam Sivasubramanian
Robert Dodge
Aditya Ramani
David Bayba
Mani Janakiram
Eric Butcher
Joseph Gonzales
Giulia Pedrielli
Publication date
01-05-2023
Publisher
Springer Berlin Heidelberg
Published in
Journal of Systems Science and Systems Engineering / Issue 3/2023
Print ISSN: 1004-3756
Electronic ISSN: 1861-9576
DOI
https://doi.org/10.1007/s11518-023-5564-x

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