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Journal of Electronic Materials

Published in:

25-03-2019

Effect of Seed Layer and Thermal Annealing on Structural and Optical Properties of Silicon Layers Deposited by PECVD

Authors: N. K. Maaloul, M. Kraini, K. Khirouni, H. Khemakhem

Published in: Journal of Electronic Materials | Issue 6/2019

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Title: Effect of Seed Layer and Thermal Annealing on Structural and Optical Properties of Silicon Layers Deposited by PECVD
Authors: N. K. Maaloul
M. Kraini
K. Khirouni
H. Khemakhem
Publication date: 25-03-2019
Publisher: Springer US
Published in: Journal of Electronic Materials / Issue 6/2019
Print ISSN: 0361-5235
Electronic ISSN: 1543-186X
DOI: https://doi.org/10.1007/s11664-019-07143-4