8. Elektronenstrahl-Mikroanalyse (ESMA)

Mit der Elektronenstrahl-Mikroanalyse wird ein ortsaufgelöstes Verfahren vorgestellt, das für die Quantifizierung charakteristische Röntgenstrahlung verwendet. Im Gegensatz zur RFA wird diese hier durch einen hochbeschleunigten Elektronenstrahl produziert. Aufgrund der hohen Fokussierbarkeit der Elektronen können mit diesem Verfahren sehr kleine Probenbereiche analysiert werden (\(< 1\,\upmu \mathrm {m}\)). Die Sonde verfügt normalerweise über wellenlängen- und energiedispersive Spektrometer. Zusätzlich können elektronenoptische Aufnahmen generiert werden. In dem Buch wird der grundlegende Geräteaufbau und die wichtigen Bauteile erklärt. Weiterhin werden die mit der Elektronenanregung verbundenen analytischen Herausforderungen (Eindringtiefe, Matrixkorrektur) besprochen. Bei der Datenauswertung wird auf Verfahren der Berechnung von stöchiometrischen Formeln und des Gesamtphasenbestandes inklusive der Berechnung von Gehalten nichtmessbarer leichter Elemente am Beispiel des Lithiums eingegangen.