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Published in: Semiconductors 8/2016

01-08-2016 | Fabrication, Treatment, and Testing of Materials and Structures

Formation of donors in germanium–silicon alloys implanted with hydrogen ions with different energies

Authors: Yu. M. Pokotilo, A. N. Petukh, V. V. Litvinov, V. P. Markevich, N. V. Abrosimov, A. S. Kamyshan, A. V. Giro, K. A. Solyanikova

Published in: Semiconductors | Issue 8/2016

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Metadata
Title
Formation of donors in germanium–silicon alloys implanted with hydrogen ions with different energies
Authors
Yu. M. Pokotilo
A. N. Petukh
V. V. Litvinov
V. P. Markevich
N. V. Abrosimov
A. S. Kamyshan
A. V. Giro
K. A. Solyanikova
Publication date
01-08-2016
Publisher
Pleiades Publishing
Published in
Semiconductors / Issue 8/2016
Print ISSN: 1063-7826
Electronic ISSN: 1090-6479
DOI
https://doi.org/10.1134/S1063782616080182

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