Skip to main content
Top

Hint

Swipe to navigate through the articles of this issue

Published in: JOT Journal für Oberflächentechnik 3/2022

01-07-2022 | Anlagentechnik

Hybride Feinstreinigung - vollautomatisiert und verkettet

Author: HEMO GmbH

Published in: JOT Journal für Oberflächentechnik | Special Issue 3/2022

Login to get access
share
SHARE

Auszug

Komponenten für die Hochvakuumtechnik unterliegen strengsten Anforderungen an den Sauberkeitsgrad. Eine vollautomatisierte Teilereinigungslinie, bestehend aus fünf über ein Shuttlesystem verketteten Einzelanlagen, entfernt Verunreinigungen bis in den Bereich weniger Atomlagen. …
Metadata
Title
Hybride Feinstreinigung - vollautomatisiert und verkettet
Author
HEMO GmbH
Publication date
01-07-2022
Publisher
Springer Fachmedien Wiesbaden
Published in
JOT Journal für Oberflächentechnik / Issue Special Issue 3/2022
Print ISSN: 0940-8789
Electronic ISSN: 2192-869X
DOI
https://doi.org/10.1007/s35144-022-1645-8

Other articles of this Special Issue 3/2022

JOT Journal für Oberflächentechnik 3/2022 Go to the issue

Premium Partners