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01-07-2022 | Anlagentechnik

Hybride Feinstreinigung - vollautomatisiert und verkettet

Author: HEMO GmbH

Published in: JOT Journal für Oberflächentechnik | Special Issue 3/2022

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Komponenten für die Hochvakuumtechnik unterliegen strengsten Anforderungen an den Sauberkeitsgrad. Eine vollautomatisierte Teilereinigungslinie, bestehend aus fünf über ein Shuttlesystem verketteten Einzelanlagen, entfernt Verunreinigungen bis in den Bereich weniger Atomlagen. …

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Title: Hybride Feinstreinigung - vollautomatisiert und verkettet
Author: HEMO GmbH
Publication date: 01-07-2022
Publisher: Springer Fachmedien Wiesbaden
Published in: JOT Journal für Oberflächentechnik / Issue Special Issue 3/2022
Print ISSN: 0940-8789
Electronic ISSN: 2192-869X
DOI: https://doi.org/10.1007/s35144-022-1645-8

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